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龙图腾网获悉苏州佑伦真空设备科技有限公司申请的专利一种溅射镀膜机的真空泵水冷机构获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223386214U 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-09-26发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202422816303.2，技术领域涉及：C23C14/34；该实用新型一种溅射镀膜机的真空泵水冷机构是由请求不公布姓名设计研发完成，并于2024-11-19向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种溅射镀膜机的真空泵水冷机构在说明书摘要公布了：本实用新型提出一种溅射镀膜机的真空泵水冷机构，包括工艺镀膜腔体，所述工艺镀膜腔体的一端连接抽真空设备，用于对所述工艺镀膜腔体进行抽真空操作，所述抽真空设备与工艺镀膜腔体之间设有真空闸阀机构，当所述隔板上升至所述闸板的中空结构处时，所述真空闸阀机构处于关闭状态，把工艺镀膜腔体和抽真空设备隔开，当需要抽真空时，所述升降气缸带动隔板下降，使得闸板、第一连接阀、第二连接阀的中空结构与工艺镀膜腔体和抽真空设备连通，从而使得抽真空设备对所述工艺镀膜腔体进行抽真空操作，所述第一连接阀处设有环形的水冷装置，用于对进入抽真空设备前的气体进行冷却处理，防止抽真空设备进入较高温度的气体而使得抽真空设备造成损坏。

本实用新型一种溅射镀膜机的真空泵水冷机构在权利要求书中公布了：1.一种溅射镀膜机的真空泵水冷机构，包括工艺镀膜腔体，所述工艺镀膜腔体的一端连接抽真空设备（10），用于对所述工艺镀膜腔体进行抽真空操作，所述抽真空设备（10）与工艺镀膜腔体之间设有真空闸阀机构，所述真空闸阀机构包括升降气缸（21）、闸板（22）、第一连接阀（23）、第二连接阀（24），所述闸板（22）的一侧设有第一连接阀（23），通过所述第一连接阀（23）与工艺镀膜腔体连接，闸板（22）的另一侧设有第二连接阀（24），通过所述第二连接阀（24）与抽真空设备（10）连接，所述闸板（22）、第一连接阀（23）、第二连接阀（24）均为中空结构，所述闸板（22）、第一连接阀（23）、第二连接阀（24）一一对应设置，所述闸板（22）的底部设有升降气缸（21），所述闸板（22）为夹层结构，所述闸板（22）的夹层结构内设有隔板（25），所述隔板（25）的底部与升降气缸（21）连接，当所述隔板（25）上升至所述闸板（22）的中空结构处时，所述真空闸阀机构处于关闭状态，把工艺镀膜腔体和抽真空设备（10）隔开，当需要抽真空时，所述升降气缸（21）带动隔板（25）下降，使得闸板（22）、第一连接阀（23）、第二连接阀（24）的中空结构与工艺镀膜腔体和抽真空设备（10）连通，从而使得抽真空设备（10）对所述工艺镀膜腔体进行抽真空操作，其特征在于：所述第一连接阀（23）处设有环形的水冷装置（30），用于对进入抽真空设备（10）前的气体进行冷却处理。

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