拉普拉斯(无锡)半导体科技有限公司王凯获国家专利权
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龙图腾网获悉拉普拉斯(无锡)半导体科技有限公司申请的专利规整装置及检测设备获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN223390529U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-09-26发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202422817588.1,技术领域涉及:H01L21/68;该实用新型规整装置及检测设备是由王凯;赵李明;董雪迪设计研发完成,并于2024-11-19向国家知识产权局提交的专利申请。
本规整装置及检测设备在说明书摘要公布了:本申请提供一种规整装置及检测设备,规整装置包括承载件、定位组件及驱动件,承载件包括承载面和第一限位面,承载面用于承载硅片;定位组件包括第一定位件和两个第二定位件,第一定位件具有第二限位面,第二限位面与第一限位面沿第一方向相向设置,两个第二定位件分别设置于承载件沿第二方向的相对两侧,两个第二定位件均滑动连接于第一定位件并能相对承载件沿第二方向移动,第二方向与第一方向为相互垂直的两个水平方向;驱动件连接第一定位件并驱动第一定位件沿第一方向朝第一限位面移动,以定位硅片至第一限位面,第一定位件带动两个第二定位件相靠近以沿第二方向定位硅片。规整装置能够防止硅片发生偏移,以提高测试结果的准确性。
本实用新型规整装置及检测设备在权利要求书中公布了:1.一种规整装置,其特征在于,包括: 承载件,包括承载面,所述承载面用于承载硅片; 定位组件,包括两个以上第一定位件和两个以上第二定位件,两个以上所述第一定位件分别设置于所述承载件沿第一方向的相对两侧,且至少一个所述第一定位件与所述承载件可滑动地连接;两个以上所述第二定位件分别设置于所述承载件沿第二方向的相对两侧,两个以上所述第二定位件滑动连接于至少一个所述第一定位件,所述第二方向与所述第一方向为相互垂直的两个水平方向; 驱动件,连接至少一个所述第一定位件,所述驱动件驱动所述第一定位件沿所述第一方向抵接所述硅片的过程中,至少一个所述第一定位件带动两个以上所述第二定位件相靠近以沿所述第二方向抵接所述硅片。
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