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龙图腾网获悉华中科技大学申请的专利一种基于梳齿电容结构的MEMS力传感器获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN119492463B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-09-26发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202411640240.8，技术领域涉及：G01L1/14；该发明授权一种基于梳齿电容结构的MEMS力传感器是由罗鹏顺;赵海燕;高倩;刘金全;臧凌晨;石晓峰设计研发完成，并于2024-11-18向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种基于梳齿电容结构的MEMS力传感器在说明书摘要公布了：本申请提供了一种基于梳齿电容结构的MEMS力传感器，属于微电子机械系统加工技术领域，其中，第一梳齿电容结构与第二固定锚点连接，在中间主梁上下左右均对称布置有第二梳齿电容结构；第一梳齿电容结构与第二梳齿电容结构的梳齿嵌套，构成差分梳齿电容阵列；第一固定锚点用于施加偏置电压，使第一梳齿电容结构和第二梳齿电容结构间的静电力线性化；第二固定锚点用于施加驱动交流电压和高频载波；驱动交流电压用于使针尖在自身谐振频率下振动；高频载波用于针尖与样品间受到作用力时，监测第一梳齿电容结构和第二梳齿电容结构间的间距，以便获取针尖与样片之间的相互作用力。本申请提供的MEMS力传感器能够高精度高灵敏度地探测微小力变化。

本发明授权一种基于梳齿电容结构的MEMS力传感器在权利要求书中公布了：1.一种基于梳齿电容结构的MEMS力传感器，其特征在于，包括：弹性支撑梁、第一固定锚点、第二固定锚点、第一梳齿电容结构、第二梳齿电容结构、中间主梁以及针尖； 弹性支撑梁、第一梳齿电容结构、第二梳齿电容结构和中间主梁均悬空设置；第一梳齿电容结构与第二固定锚点连接，且第一梳齿电容结构位于第二固定锚点与中间主梁之间；在中间主梁上下左右均对称布置有第二梳齿电容结构；第一梳齿电容结构与第二梳齿电容结构的梳齿嵌套，构成差分梳齿电容阵列；弹性支撑梁位于差分梳齿电容阵列两侧，且关于中间主梁对称，弹性支撑梁与第一固定锚点连接；针尖位于中间主梁的最下端； 第一固定锚点用于施加偏置电压，使第一梳齿电容结构和第二梳齿电容结构间的静电力线性化；第二固定锚点用于施加驱动交流电压和高频载波；其中，驱动交流电压用于使针尖在自身谐振频率下振动；高频载波用于针尖与样品间受到作用力时，基于第一梳齿电容结构和第二梳齿电容结构间的静电力线性化以及针尖在自身谐振频率下振动的情况，监测第一梳齿电容结构和第二梳齿电容结构间的间距，以便获取针尖与样片之间的相互作用力。

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