江苏先导微电子科技有限公司杜浩然获国家专利权
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龙图腾网获悉江苏先导微电子科技有限公司申请的专利一种喷淋盘调平机构获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223386221U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-09-26发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202422805829.0，技术领域涉及：C23C14/54；该实用新型一种喷淋盘调平机构是由杜浩然;樊俊;聂伟华设计研发完成，并于2024-11-18向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种喷淋盘调平机构在说明书摘要公布了：本实用新型涉及真空镀膜设备技术领域，公开了一种喷淋盘调平机构，包括连接盘；安装盘；多根调节螺杆，绕所述安装盘的轴线均布，所述调节螺杆的底部抵设在所述连接盘，且顶部贯穿所述安装盘，并与所述安装盘螺纹连接，所述调节螺杆上套设有锁止螺母；多根导柱，绕所述安装盘的轴线均布，所述导柱的底部与所述连接盘连接，顶部贯穿所述安装盘，且与所述安装盘滑动连接，所述导柱的外壁沿轴向设有刻度；连接轴，底部贯穿所述连接盘并延伸至所述连接盘下方；喷淋盘，与所述连接轴的底部固定连接。本实用新型的有益效果：简化结构，降低生产成本，并且可对喷淋盘的水平度及高度同步调整，易于对喷淋盘的调平位置进行判断，提高调平精度。
本实用新型一种喷淋盘调平机构在权利要求书中公布了：1.一种喷淋盘调平机构，其特征在于：包括 连接盘，用于和真空镀膜设备连接； 安装盘，设于所述连接盘上方； 多根调节螺杆，绕所述安装盘的轴线均布，所述调节螺杆的底部抵设在所述连接盘，且顶部贯穿所述安装盘，并与所述安装盘螺纹连接，所述调节螺杆上套设有锁止螺母，所述锁止螺母的上端面抵设在所述安装盘的下端面； 多根导柱，绕所述安装盘的轴线均布，所述导柱的底部与所述连接盘连接，顶部贯穿所述安装盘，且与所述安装盘滑动连接，所述导柱的外壁沿轴向设有刻度； 连接轴，顶部与所述安装盘固定，底部贯穿所述连接盘并延伸至所述连接盘下方； 喷淋盘，位于所述连接盘下方，且与所述连接轴的底部固定连接。
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