江苏先导微电子科技有限公司杜浩然获国家专利权
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龙图腾网获悉江苏先导微电子科技有限公司申请的专利一种工艺气体引入装置获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223386211U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-09-26发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202422792067.5，技术领域涉及：C23C14/22；该实用新型一种工艺气体引入装置是由杜浩然;樊俊;聂伟华设计研发完成，并于2024-11-15向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种工艺气体引入装置在说明书摘要公布了：本实用新型涉及真空镀膜设备技术领域，公开了一种工艺气体引入装置，用于将工艺气体引入真空腔体，包括气体分配器、进气管、隔膜阀；所述气体分配器内设有多条气体通道，所述气体分配器的侧壁周向设有多个与所述气体通道连通的进气口，所述气体分配器的一端部设有多个与所述气体通道连通的出气口，所述进气口连接有所述隔膜阀；所述进气管的一端与多个所述出气口连通，所述进气管另一端延伸至所述真空腔体内。本实用新型的有益效果：将多种工艺气体的输送管路进行集成，简化管路结构，便于布置安装，降低生产成本，切断气体供应时，供气设备管路中的残留气体无法进入真空腔体，避免真空腔体内的工艺气体比例发生变化，确保各工艺过程的反应效率。
本实用新型一种工艺气体引入装置在权利要求书中公布了：1.一种工艺气体引入装置，用于将工艺气体引入真空腔体，其特征在于：包括气体分配器、进气管、隔膜阀； 所述气体分配器与所述真空腔体固定，所述气体分配器内设有多条气体通道，所述气体分配器的侧壁周向设有多个与所述气体通道连通的进气口，所述气体分配器的一端部设有多个与所述气体通道连通的出气口，所述进气口与所述出气口、所述隔膜阀的数量对应，所述进气口连接有所述隔膜阀； 所述进气管的一端与多个所述出气口连通，且所述进气管的另一端延伸至所述真空腔体内； 其中，工艺气体经所述进气口从所述气体通道由所述出气口汇聚至所述进气管，并引入所述真空腔体内。
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