宁波芯丰精密科技有限公司万先进获国家专利权
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龙图腾网获悉宁波芯丰精密科技有限公司申请的专利晶圆夹紧机构及晶圆清洗装置获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223390538U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-09-26发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202422645592.4，技术领域涉及：H01L21/687；该实用新型晶圆夹紧机构及晶圆清洗装置是由万先进;邬龙威;朱松;谢亚楠;魏兴亮;锁志勇;边逸军设计研发完成，并于2024-10-31向国家知识产权局提交的专利申请。
本晶圆夹紧机构及晶圆清洗装置在说明书摘要公布了：本实用新型属于半导体设备技术领域，公开了晶圆夹紧机构及晶圆清洗装置，晶圆夹紧机构包括夹紧组件和驱动组件，至少两个夹紧组件围合成夹持空间；每个夹紧组件均包括安装板，安装板上设置有沿夹持或松开晶圆的方向可移动的夹持轴，安装板上设置有旋拧件和锁定件，旋拧件螺接于安装板上，旋拧件能够靠近或远离夹持轴，锁定件能够相对安装板锁定或松开夹持轴；驱动组件的输出端连接安装板，驱动组件驱动夹持轴互相靠近或远离，以能够改变夹持空间的大小，晶圆清洗装置包括清洗辊以及上述的晶圆夹紧机构，清洗辊转动设置于夹持空间内，螺接的旋拧件推动夹持轴移动，使调整更加精准，不会出现调整过大偏差。
本实用新型晶圆夹紧机构及晶圆清洗装置在权利要求书中公布了：1.晶圆夹紧机构，其特征在于，包括： 夹紧组件1，至少两个所述夹紧组件1围合成夹持空间，以能够夹持晶圆；每个所述夹紧组件1均包括安装板11，所述安装板11上设置有沿夹持或松开所述晶圆的方向可移动的夹持轴12，所述安装板11上设置有旋拧件13和锁定件14，所述旋拧件13螺接于所述安装板11上，所述旋拧件13能够靠近或远离所述夹持轴12，所述旋拧件13靠近所述夹持轴12时，所述旋拧件13能够推动所述夹持轴12向夹持所述晶圆的方向移动， 所述锁定件14能够相对所述安装板11锁定或松开所述夹持轴12； 驱动组件2，所述驱动组件2的输出端连接所述安装板11，所述驱动组件2驱动所述夹持轴12互相靠近或远离，以能够改变所述夹持空间的大小。
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