杭州晶通科技有限公司王蜀豫获国家专利权
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龙图腾网获悉杭州晶通科技有限公司申请的专利一种晶圆冷却卡盘获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN111430290B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-09-26发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202010316666.3，技术领域涉及：H01L21/683；该发明授权一种晶圆冷却卡盘是由王蜀豫设计研发完成，并于2020-04-21向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种晶圆冷却卡盘在说明书摘要公布了：本发明公开了一种晶圆冷却卡盘，包括圆形的卡盘本体，在圆心位置有进气孔，在卡盘本体上靠近圆心的位置设置有聚流环，聚流环的外壁延伸出六个等角度分隔的分隔壁，将卡盘本体分隔为6个分隔区，分隔壁延伸至卡盘本体的边缘，在相邻的两个分隔壁间的聚流环上有导流孔，在三个两两不相邻的分隔区的卡盘本体上均有至少一个顶针孔，其余的三个分隔区的卡盘本体上均有真空吸盘，真空吸盘连接到同一个抽真空机。采用发明的设计方案，通过顶针的垂直运动接收输送晶圆，通过真空吸盘进行晶圆的吸附和固定，通过三点一个平面的形式，使得变形的晶圆也能够被完全固定，并通过分隔区的配合，使得冷却气体流速变大，降温变快。
本发明授权一种晶圆冷却卡盘在权利要求书中公布了：1.一种晶圆冷却卡盘，其特征在于：包括圆形的卡盘本体，在圆心位置有进气孔，在卡盘本体上靠近圆心的位置设置有聚流环，聚流环的外壁延伸出六个等角度分隔的分隔壁，将卡盘本体分隔为6个分隔区，分隔壁延伸至卡盘本体的边缘，在相邻的两个分隔壁间的聚流环上有导流孔，在三个两两不相邻的分隔区的卡盘本体上均有至少一个顶针孔，其余的三个分隔区的卡盘本体上均有真空吸盘，真空吸盘连接到同一个抽真空机； 分隔壁的顶部形成若干小面积的接触点，分隔壁上有至少一个用于贯通相邻分隔区的缺口； 卡盘外部的用于连接真空吸盘的管路上设置有针阀和关断阀； 所述真空吸盘包括自卡盘本体上延伸出的形状为漏斗状的金属吸嘴以及粘附在金属吸嘴内表面的氟橡胶吸盘。
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2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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