清华大学;华海清科股份有限公司刘远航获国家专利权
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龙图腾网获悉清华大学;华海清科股份有限公司申请的专利一种晶圆对中机构、晶圆传输装置及晶圆加工设备获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN113130363B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-09-26发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：201911420141.8，技术领域涉及：H01L21/68；该发明授权一种晶圆对中机构、晶圆传输装置及晶圆加工设备是由刘远航;赵德文;王江涛设计研发完成，并于2019-12-31向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种晶圆对中机构、晶圆传输装置及晶圆加工设备在说明书摘要公布了：本发明公开了一种晶圆对中机构、晶圆传输装置及晶圆加工设备，所述晶圆对中机构包括基座、驱动件、连杆及夹持件，连杆铰接于驱动件与夹持件之间构成的连杆组件同心设置于所述基座；所述驱动件的竖向移动通过连杆转化为所述夹持件的同步水平移动，水平移动的夹持件推动设置于基座的晶圆移动使得晶圆与基座同心。
本发明授权一种晶圆对中机构、晶圆传输装置及晶圆加工设备在权利要求书中公布了：1.一种晶圆对中机构，其包括基座、驱动件、连杆及夹持件，连杆铰接于驱动件与夹持件之间构成的连杆组件同心设置于所述基座；所述驱动件的竖向移动通过连杆转化为所述夹持件的同步水平移动，水平移动的夹持件推动设置于基座的晶圆移动使得晶圆与基座同心；夹持件的数量为多个，其沿基座的中心对称分布；部分夹持件配置有柔性部，所述柔性部与晶圆的边缘抵接；所述夹持件分两组对称设置于基座，所述夹持件的至少三个未配置柔性部且未配置柔性部的夹持件来自不同组；未配置柔性部的夹持件用于保证晶圆的对中精度，配置柔性部的夹持件用于提升晶圆对中机构的柔性，防止晶圆碎片，提升晶圆对中机构的稳定性。
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1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
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