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龙图腾网获悉江苏新智达新能源设备有限公司申请的专利一种晶圆用自动安装装置的晶圆旋转机构获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN118448336B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-09-26发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202410588421.4，技术领域涉及：H01L21/687；该发明授权一种晶圆用自动安装装置的晶圆旋转机构是由向军设计研发完成，并于2019-03-18向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种晶圆用自动安装装置的晶圆旋转机构在说明书摘要公布了：本发明涉及一种晶圆用自动安装装置的晶圆旋转机构，包括平板，所述平板的上端面上固定连接有晶圆旋转机构、晶圆抓取机构以及石墨盘移动机构，所述晶圆抓取机构设置在晶圆旋转机构与石墨盘移动机构之间；所述晶圆抓取机构适于将晶圆旋转机构上的晶圆抓取至石墨盘移动机构的石墨盘上。通过晶圆抓取机构将晶圆旋转机构上的晶圆抓取至石墨盘移动机构的石墨盘上，以实现生产的自动化，从而提高生产速度，节省人力物力的效果。

本发明授权一种晶圆用自动安装装置的晶圆旋转机构在权利要求书中公布了：1.一种晶圆用自动安装装置的晶圆旋转机构，固定设置在平板（1）的上端面上，其特征在于：所述晶圆旋转机构（2）包括晶圆旋转支撑板（21），所述晶圆旋转支撑板（21）的下端安装在平板（1）上； 所述晶圆旋转支撑板（21）上开设有旋转孔（211），所述旋转孔（211）内设有固定环（22），所述固定环（22）的下端转动连接在晶圆旋转支撑板（21）的旋转孔（211）内，所述固定环（22）的上端固定连接有半圆形挡板（221）以及弹簧座（23），所述半圆形挡板（221）的侧壁面与固定环（22）的上端面之间形成L形支撑槽，所述弹簧座（23）与支撑槽之间形成用于放置晶圆的扩晶环（5）的夹紧区； 所述弹簧座（23）的下端固定连接在固定环（22）的上端面上，所述弹簧座（23）的左右两端分别转动连接有夹抓（231），所述夹抓（231）包括夹手端以及顶紧端，所述弹簧座（23）上的弹簧顶紧在夹抓（231）的顶紧端上，并使夹抓（231）的夹手端将扩晶环（5）夹紧在夹紧区内； 所述晶圆旋转支撑板（21）的上设有第一气缸（24），所述第一气缸（24）的缸体固定连接在晶圆旋转支撑板（21）的上端面上，所述第一气缸（24）的推杆顶紧在两个夹抓（231）的顶紧端上，并使夹抓（231）的夹手端脱离扩晶环（5）； 所述晶圆旋转支撑板（21）上设有换位电机（25），所述换位电机（25）的法兰端固定连接在晶圆旋转支撑板（21）的下端面上，所述换位电机（25）的输出轴从晶圆旋转支撑板（21）中穿过； 所述固定环（22）的外侧面上开设有环形齿，所述环形齿上啮合有传动皮带（26），所述换位电机（25）的输出轴上固定连接有输出齿轮（251），所述输出齿轮（251）与所述传动皮带（26）相啮合，且所述换位电机（25）经传动皮带（26）带动固定环（22）在晶圆旋转支撑板（21）的旋转孔（211）内转动； 所述平板（1）的上端面上固定连接有第一滑台底板（27），所述第一滑台底板（27）上设有第一丝杆（271）以及用于带动第一丝杆（271）转动的第一电机（272），所述第一电机（272）的法兰端固定连接在第一滑台底板（27）的侧壁面上，所述第一电机（272）的输出轴固定连接在第一丝杆（271）上； 所述第一丝杆（271）上螺纹连接有可在第一滑台底板（27）上左右滑动的第一螺母（273），所述第一螺母（273）固定连接在第二滑台底板（28）的下端面，且所述第一电机（272）带动第一丝杆（271）转动以使第二滑台底板（28）在平板（1）的上方左右移动； 所述第二滑台底板（28）上设有第二丝杆（281）以及用于带动第二丝杆（281）转动的第二电机（282），所述第二电机（282）的法兰端固定连接在第二滑台底板（28）的侧壁面上，所述第二电机（282）的输出轴固定连接在第二丝杆（281）上； 所述第二丝杆（281）上螺纹连接有可在第二滑台底板（28）上左右滑动的第二螺母（283），所述第二螺母（283）固定连接在晶圆旋转支撑板（21）的下端面上，且所述第二电机（282）带动第二丝杆（281）转动以使晶圆旋转支撑板（21）在平板（1）的上方前后移动； 所述晶圆旋转支撑板（21）上设有用于将扩晶环（5）上的晶圆顶起的顶升机构（6）； 所述顶升机构（6）包括调节座（61）以及顶升电机（62），所述调节座（61）的下端面固定连接在平板（1）的上端面，所述顶升电机（62）的法兰端固定连接在调节座（61）上，所述顶升电机（62）的输出轴上固定连接有偏心轴（63），所述偏心轴（63）上套设有偏心环（631）； 所述调节座（61）的上设有顶升座（64），所述顶升座（64）的下端固定连接在调节座（61）的上端，所述顶升座（64）的上端设有可上下滑动的顶针帽（641），所述顶升座（64）上开设有上下贯穿的通孔，所述通孔内滑动连接有心轴（642），所述心轴（642）的上端顶紧在顶针帽（641）上，所述心轴（642）的下端固定连接有用于与偏心环（631）相配合的装快（65），所述心轴（642）的下端套设有复位弹簧（643），所述复位弹簧（643）的下端顶紧在装快（65）上，所述复位弹簧（643）的上端顶紧在顶升座（64）的通孔内，所述装快（65）上开设有滑孔，所述滑孔内滑动连接有导向杆（66），所述导向杆（66）的上端固定连接在顶升座（64）上，且所述顶升电机（62）带动偏心环（631）转动以使心轴（642）带动顶针帽（641）上下移动。

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