日产化学株式会社荻野浩司获国家专利权
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龙图腾网获悉日产化学株式会社申请的专利清洗剂组合物以及清洗方法获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN113439325B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-09-30发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202080014674.0,技术领域涉及:H01L21/304;该发明授权清洗剂组合物以及清洗方法是由荻野浩司;新城彻也;柄泽凉;奥野贵久设计研发完成,并于2020-02-14向国家知识产权局提交的专利申请。
本清洗剂组合物以及清洗方法在说明书摘要公布了:本发明提供一种清洗剂组合物,其用于去除残留于基体上的聚硅氧烷系粘接剂,所述清洗剂组合物包含氟化四烃铵和有机溶剂,上述有机溶剂包含亚烷基二醇二烷基醚和式1所示的内酰胺化合物。式中,R101表示碳原子数1~6的烷基,R102表示碳原子数1~6的亚烷基。
本发明授权清洗剂组合物以及清洗方法在权利要求书中公布了:1.一种清洗剂组合物,其特征在于,所述清洗剂组合物用于去除残留于基体上的聚硅氧烷系粘接剂,所述清洗剂组合物包含氟化四烃铵和由有机溶剂组成的溶剂,所述有机溶剂包含式1所示的内酰胺化合物并且还包含选自亚烷基二醇二烷基醚、二乙二醇二乙基醚和二乙二醇二丁基醚中的至少一种,式中,R101表示碳原子数1~6的烷基,R102表示碳原子数1~6的亚烷基。
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