日本碍子株式会社堀裕二获国家专利权
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龙图腾网获悉日本碍子株式会社申请的专利压电性材料基板与支撑基板的接合体获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN114731150B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-09-30发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202080005724.9,技术领域涉及:H03H9/25;该发明授权压电性材料基板与支撑基板的接合体是由堀裕二;山寺乔纮设计研发完成,并于2020-11-11向国家知识产权局提交的专利申请。
本压电性材料基板与支撑基板的接合体在说明书摘要公布了:本发明提供能够抑制无法通过对接合体的压电性材料基板或支撑基板的接合面的表面形状进行控制来加以抑制的寄生波的结构。接合体具备:支撑基板;压电性材料基板,其由选自由铌酸锂、钽酸锂以及铌酸锂-钽酸锂构成的组中的材质形成;以及接合层,其将支撑基板和压电性材料基板接合,并与压电性材料基板的主面接触。利用X射线反射率法对支撑基板的接合面和压电性材料基板的接合面中的至少一者进行测定,此时将全反射时的信号强度设为1时,在来自接合面的反射光的相对强度I为1.0×10-4以上1.0×10-1以下的范围内,通过下式1进行近似。[数学式1]I=a2θ‑b·····1θ为针对接合面的入射角,a为1.0×10-5以上2.0×10-3以下,b为5.0以上9.0以下。
本发明授权压电性材料基板与支撑基板的接合体在权利要求书中公布了:1.一种接合体,其具备: 支撑基板; 压电性材料基板,该压电性材料基板由选自由铌酸锂、钽酸锂以及铌酸锂-钽酸锂构成的组中的材质形成;以及接合层,该接合层将所述支撑基板和所述压电性材料基板接合,所述接合体的特征在于,利用X射线反射率法对所述支撑基板的接合面和所述压电性材料基板的接合面中的至少一者进行测定,此时将全反射时的信号强度设为1时,在来自所述接合面的反射光的相对强度I为1.0×10-4以上1.0×10-1以下的范围内,通过下式1进行近似,由此抑制寄生波,[数学式1]式1中,θ为X射线相对于所述接合面的入射角,a为1.0×10-5以上2.0×10-3以下,b为5.0以上9.0以下。
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