内蒙古恒嘉晶体材料有限公司徐永亮获国家专利权
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龙图腾网获悉内蒙古恒嘉晶体材料有限公司申请的专利一种坩埚防抖动结构及晶体生长装置获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN114775039B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-09-30发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202210588152.2,技术领域涉及:C30B15/10;该发明授权一种坩埚防抖动结构及晶体生长装置是由徐永亮;于海群;汪海波;邱超;白伟;万如涛设计研发完成,并于2022-05-26向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种坩埚防抖动结构及晶体生长装置在说明书摘要公布了:本发明涉及晶体生长技术领域,具体而言,涉及一种坩埚防抖动结构及晶体生长装置,一定程度上可以解决坩埚支撑结构在温度升高过程中由于不锈钢水冷升降杆和坩埚支撑轴的膨胀程度不同导致产生晃动的问题。所述坩埚防抖结构包括:坩埚托盘、坩埚支撑轴、呈中空的锁紧机构和水冷升降杆;其中,坩埚托盘设置在坩埚支撑轴的一端;坩埚支撑轴的另一端与锁紧机构连接,且坩埚支撑轴与锁紧机构具有不同的膨胀系数;锁紧机构套设在水冷升降杆的一端,锁紧机构沿高度方向的外轮廓尺寸逐渐增大,且锁紧机构的周向上开设有间隙槽;水冷升降杆安装锁紧机构的一端设计为非平面结构,且水冷升降杆与锁紧机构具有相同的膨胀系数。
本发明授权一种坩埚防抖动结构及晶体生长装置在权利要求书中公布了:1.一种坩埚防抖动结构,其特征在于,用于导模法晶体生长,包括:坩埚托盘、坩埚支撑轴、呈中空的锁紧机构和水冷升降杆; 其中,所述坩埚托盘设置在所述坩埚支撑轴的一端; 所述坩埚支撑轴的另一端与所述锁紧机构连接,且所述坩埚支撑轴与所述锁紧机构具有不同的膨胀系数; 所述锁紧机构套设在所述水冷升降杆的一端,所述锁紧机构沿高度方向的外轮廓尺寸逐渐增大,且所述锁紧机构的周向上开设有间隙槽; 所述水冷升降杆安装所述锁紧机构的一端设计为非平面结构,且所述水冷升降杆与所述锁紧机构具有相同的膨胀系数。
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