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龙图腾网获悉上海微电子装备(集团)股份有限公司申请的专利硬件同步控制系统及其控制方法、步进扫描投影光刻机获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN115616866B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-09-30发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202110808547.4，技术领域涉及：G03F7/20；该发明授权硬件同步控制系统及其控制方法、步进扫描投影光刻机是由陈丹;谢仁飚设计研发完成，并于2021-07-16向国家知识产权局提交的专利申请。

本硬件同步控制系统及其控制方法、步进扫描投影光刻机在说明书摘要公布了：本发明提供了一种硬件同步控制系统，包括上位机、同步控制器、信号采集单元、信号控制单元、信号收发单元、信号转换单元；所述同步控制器、信号采集单元以及信号控制单元通过命令总线连接所述上位机；所述信号收发单元根据上位机提供的光刻流程的时序收集所述信号控制单元发送的控制信号，并将所述同步控制器发送的信号分发给所述信号控制单元；所述信号转换单元用于接收所述信号收发单元发送的信号并经过转换后发送给所述同步控制器，并将所述同步控制器发送的信号经过转换后再传输给所述信号采集单元。采用硬件同步的方式重建同步控制架构，通过控制信号线传输控制信号，简化了整机同步机制，减少了同步软件调用接口的时间。

本发明授权硬件同步控制系统及其控制方法、步进扫描投影光刻机在权利要求书中公布了：1.一种硬件同步控制系统，其特征在于，包括上位机、同步控制器、信号采集单元、信号控制单元、信号收发单元、信号转换单元； 所述同步控制器、信号采集单元以及信号控制单元通过命令总线连接所述上位机；所述信号采集单元包括第二CCD；所述信号控制单元包括像质控制器，用于控制所述第二CCD工作；所述信号控制单元还包括垂向测量控制器，所述垂向测量控制器用于测量硅片面型； 所述信号收发单元根据上位机提供的光刻流程的时序收集所述信号控制单元发送的控制信号，并将所述同步控制器发送的信号分发给所述信号控制单元； 所述信号转换单元用于接收所述信号收发单元发送的信号并经过转换后发送给所述同步控制器，并将所述同步控制器发送的信号经过转换后再传输给所述信号采集单元； 所述信号收发单元收到载物台到位反馈信号后，所述同步控制器发出偏振快门触发信号，并同时发出垂向测量停止触发信号，以打开偏振快门并关闭自聚焦探测器快门； 所述像质控制器同时收到偏振快门完全打开反馈信号和第二CCD曝光采图触发信号后，所述第二CCD进行曝光采图；所述第二CCD曝光采图完成后同时关闭所述偏振快门和发出曝光采图完成反馈信号； 所述信号收发单元收到所述曝光采图完成反馈信号后发送载物台运动触发信号，以开启下一个点的测量，并发送自聚焦探测器快门打开触发信号； 所述信号收发单元收到偏振快门关闭反馈信号后发送自聚焦探测器开始测量触发信号； 所述垂向测量控制器同时收到所述自聚焦探测器开始测量触发信号和所述自聚焦探测器快门打开触发信号后，所述垂向测量控制器控制所述自聚焦探测器开始测量硅片面型。

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