中国电子科技集团公司第四十八研究所巴赛获国家专利权
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龙图腾网获悉中国电子科技集团公司第四十八研究所申请的专利一种外延设备用尾气处理装置获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN116850720B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-09-30发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202310997020.X，技术领域涉及：B01D46/24；该发明授权一种外延设备用尾气处理装置是由巴赛;胡凡;巩小亮;胡志坤;石磊设计研发完成，并于2023-08-08向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种外延设备用尾气处理装置在说明书摘要公布了：本发明公开了一种外延设备用尾气处理装置，包括：进气接口、尾气管道、冷却组件、气固分离组件、吹扫组件和排气接口，尾气管道的两端分别密封连接进气接口和排气接口，以实现尾气输送，冷却组件环绕在尾气管道外侧，用于实现尾气管道内的尾气冷却，气固分离组件嵌套在尾气管道内侧，气固分离组件包括多个依次嵌套设置的薄壁圆筒，吹扫组件密封穿过冷却组件后，与尾气管道内侧上的通气孔连通，通过吹扫组件提供吹扫气体，实现流经尾气管道的尾气进行气固分离。本发明具有结构紧凑、操作简单、分离效果显著且使用成本低等优点，解决了工艺尾气造成真空元件寿命缩短、尾气维护成本高等问题，提高了外延设备的生产力和运行稳定性。
本发明授权一种外延设备用尾气处理装置在权利要求书中公布了：1.一种外延设备用尾气处理装置，其特征在于，包括：进气接口1、尾气管道2、冷却组件3、气固分离组件、吹扫组件7和排气接口9，所述尾气管道2的两端分别密封连接进气接口1和排气接口9，以实现尾气输送，所述冷却组件3环绕在尾气管道2外侧，用于实现尾气管道2内的尾气冷却，气固分离组件嵌套在尾气管道2内侧，气固分离组件包括多个依次嵌套设置的薄壁圆筒，吹扫组件7密封穿过冷却组件3后，与尾气管道2内侧上的通气孔连通，通过吹扫组件7提供吹扫气体，实现流经尾气管道2的尾气进行气固分离； 所述气固分离组件包括依次嵌套设置的第一薄壁圆筒4、第二薄壁圆筒5和第三薄壁圆筒6，所述第一薄壁圆筒4与尾气管道2内侧壁贴合，所述第一薄壁圆筒4和第二薄壁圆筒5的侧壁上均布有多个通气孔； 所述第一薄壁圆筒4的通气孔与尾气管道2的通气孔一一对应；所述第一薄壁圆筒4的通气孔和第二薄壁圆筒5的通气孔交错布置；所述第三薄壁圆筒6的侧壁不设置通气孔。
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2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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