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浙江大学徐瑞获国家专利权

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龙图腾网获悉浙江大学申请的专利一种光刻工艺热点归类整合方法获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN117197508B

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-09-30发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202310823739.1,技术领域涉及:G06V10/762;该发明授权一种光刻工艺热点归类整合方法是由徐瑞;任堃;高大为设计研发完成,并于2023-07-06向国家知识产权局提交的专利申请。

一种光刻工艺热点归类整合方法在说明书摘要公布了:本发明公开了一种光刻工艺热点归类整合方法,首先将图形库中每个光刻工艺热点截取对应的大小相同的图形区域,得到光刻热点图形;然后对截取的光刻热点图形提取局部特征,获得特征数据集;之后对特征数据集中局部特征进行聚类,输出归一化特征向量,最后对输出的特征向量进行降维并按照相似度平均值进行排序,选取相似度平均值最大的特征向量所映射的图形作为代表性热点图形存储到压缩热点图形库中。本发明通过提取热点图形局部特征,通过特征向量来判断图形之间的相似度,加快运算速度并减少内存占用,为了更加适配本发明中的光刻工艺热点聚类,对聚类有效性指标函数的权重系数进行调整,得到更全面准确的聚类效果评估。

本发明授权一种光刻工艺热点归类整合方法在权利要求书中公布了:1.一种光刻工艺热点归类整合方法,其特征在于,该方法包括以下步骤: S1、将图形库中每个光刻工艺热点截取对应的大小相同的图形区域,得到光刻热点图形; S2、对截取的光刻热点图形提取局部特征,获得特征数据集;所述提取局部特征是通过SIFT算法实现; S3、对特征数据集中局部特征进行聚类,输出归一化特征向量;所述对特征数据集中局部特征进行聚类具体为: S3.1、计算局部特征两两之间的欧氏距离,并根据欧氏距离的最大值和最小值确定欧氏距离阈值;确定欧氏距离阈值ε的方法为ε=Dmax+Dmin22*Cmax,其中Cmax为预先设定的特征数据集待聚类的聚类簇数上限,且Cmax为不大于的正整数,P为所有光刻热点图形中局部特征最小值;Dmax和Dmin分别为局部特征数据点之间欧氏距离的最大值和最小值; S3.2、统计与各数据点的欧氏距离小于阈值的数据点个数,作为数据点的密度信息; S3.3、选取密度信息最大的2个点作为初始中心点; S3.4、根据初始中心点对特征数据集使用K‑means聚类算法进行聚类;通过特征数据集的全局类内相似度和特征数据集的全局类间分离度计算聚类有效性指标;聚类有效性指标最佳时输出特征数据集聚类结果;所述聚类有效性指标的函数DCVIK为: 其中P为所有光刻热点图形中局部特征最小值;K为特征数据集的总类数;comK含义为数据集的全局类内相似度,sepK含义为数据集的全局类间分离度; 聚类有效性指标函数值最小时的聚类结果为最佳聚类结果,最佳聚类数Konc的确定方法为: 聚类有效性指标最佳时输出特征数据集聚类结果; S4、将输出的特征向量输入到匹配网络:设置相似度阈值,对特征向量进行降维并归类分组,在每一组中按照相似度平均值进行排序,相似度平均值最大的特征向量所映射的图形作为该类代表性热点图形,存储到压缩热点图形库中并输出。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术,可联系本专利的申请人或专利权人浙江大学,其通讯地址为:310058 浙江省杭州市西湖区余杭塘路866号;或者联系龙图腾网官方客服,联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

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