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华南理工大学李国强获国家专利权

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龙图腾网获悉华南理工大学申请的专利一种1D GaN纳米柱阵列/2D MoS2/Pedot : Pss自供电柔性紫外探测器与制备获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN117855313B

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-09-30发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202311729194.4,技术领域涉及:H10F30/21;该发明授权一种1D GaN纳米柱阵列/2D MoS2/Pedot : Pss自供电柔性紫外探测器与制备是由李国强;唐鑫;王文樑设计研发完成,并于2023-12-15向国家知识产权局提交的专利申请。

一种1D GaN纳米柱阵列/2D MoS2/Pedot : Pss自供电柔性紫外探测器与制备在说明书摘要公布了:本发明公开了一种1DGaN纳米柱阵列2DMoS2薄膜Pedot:Pss自供电柔性紫外探测器与制备;器件包括PET衬底,ITO薄膜,金属电极,MoS2薄膜,GaN纳米柱阵列。发明人通过湿法转移技术将1DGaN纳米柱阵列2DMoS2薄膜无损转移至Pedot:PssITOPET柔性衬底上构建柔性异质结,实现了自供电柔性探测器制备。由于2DMoS2薄膜作为转移模板,1DGaN纳米柱阵列不会出现倒塌与破坏。该器件利用了GaN纳米柱阵列巨大的比表面积提升光吸收,利用了2DMoS2的二维量子限域性,提高了载流子迁移率,因此,柔性探测器在紫外探测器时表现出高响应度、快响应速度,制备过程无复杂操作和有害污染物产生,为下一代光电探测提供了有效策略。

本发明授权一种1D GaN纳米柱阵列/2D MoS2/Pedot : Pss自供电柔性紫外探测器与制备在权利要求书中公布了:1.一种1D GaN 纳米柱阵列2D MoS2Pedot:Pss自供电柔性紫外探测器的制备方法,其特征在于,包括以下步骤: S1:通过化学气相沉积工艺,在SiO2Si衬底上制备了2D MoS2薄膜; S2:将步骤S1中的MoS2SiO2Si置于射频辅助分子束外延设备中,在MoS2SiO2Si上生长出GaN纳米柱; S3:将步骤S2中的GaN纳米柱MoS2SiO2Si旋涂PMMA溶液并加热固化; S4:将步骤S3中的PMMAGaN纳米柱MoS2SiO2Si置于稀HF溶液中,去除SiO2薄膜,得到PMMAGaN纳米柱MoS2; S5、将步骤S4中的PMMAGaN纳米柱MoS2转移至Pedot:PssITOPET柔性衬底上,并采用反应离子刻蚀来去除表面PMMA; S6、通过电子束蒸发工艺,在步骤S5得到的GaN纳米柱MoS2Pedot:PssITOPET柔性衬底上制备TiAu电极得到自供电柔性紫外光电探测器; GaN纳米柱垂直阵列的长度为200~600 nm,直径为30~70 nm;GaN纳米柱的密度为5.0×10 9 ~10.0×10 9 cm2; MoS2薄膜厚度为2~7nm。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术,可联系本专利的申请人或专利权人华南理工大学,其通讯地址为:511458 广东省广州市南沙区环市大道南路25号华工大广州产研院;或者联系龙图腾网官方客服,联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

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