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龙图腾网获悉中国电子科技集团公司第四十八研究所申请的专利一种电子束曝光机的工件台系统获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN118732412B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-09-30发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202410648128.2，技术领域涉及：G03F7/20；该发明授权一种电子束曝光机的工件台系统是由刘千伍;叶文龙;陈李松;张超;范江华设计研发完成，并于2024-05-23向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种电子束曝光机的工件台系统在说明书摘要公布了：本发明公开了一种电子束曝光机的工件台系统，多个调节支座均布在安装底板底部，传动组件包括X轴传动组件和Y轴转动组件，X轴传动组件安装在安装底板上，其输出端与连接板连接，Y轴转动组件安装在连接板上，其输出端与用于承载工件的运动顶板连接；连接板的底部设有X轴基准槽，连接板的顶部设有Y轴基准槽，导轨包括X轴导轨和Y轴导轨，X轴导轨安装在安装底板上，并与X轴基准槽滑动配合，Y轴导轨安装在运动顶板上，并与Y轴基准槽滑动配合；在X轴传动组件的驱动下，连接板带动运动顶板在安装底板上沿着X轴方向上移动，在Y轴转动组件的驱动下，运动顶板在连接板上沿着Y轴方向上移动。本发明具有结构紧凑、操作简单、运动精度高等优点。

本发明授权一种电子束曝光机的工件台系统在权利要求书中公布了：1.一种电子束曝光机的工件台系统，其特征在于，包括：调节支座1、安装底板2、导轨3、传动组件4、连接板5和运动顶板6，所述运动顶板6用于承载工件；多个所述调节支座1均布在安装底板2底部，所述传动组件4包括X轴传动组件401和Y轴转动组件402，所述X轴传动组件401安装在安装底板2上，X轴传动组件401的输出端与连接板5连接，Y轴转动组件402安装在连接板5上，Y轴转动组件402的输出端与运动顶板6连接；所述连接板5的底部设有X轴基准槽51，连接板5的顶部设有Y轴基准槽52，所述导轨3包括X轴导轨31和Y轴导轨32，所述X轴导轨31安装在安装底板2上，并与X轴基准槽51滑动配合，所述Y轴导轨32安装在运动顶板6上，并与Y轴基准槽52滑动配合；在X轴传动组件401的驱动下，连接板5带动运动顶板6在安装底板2上沿着X轴方向上移动，在Y轴转动组件402的驱动下，运动顶板6在连接板5上沿着Y轴方向上移动； 所述X轴传动组件401和Y轴转动组件402具有相同的结构设置；所述X轴传动组件401包括驱动电机41、联轴器42、成组角接触轴承43、滚珠丝杆组件44、深沟球轴承45、轴承座固定组件48、丝杆滑块49和支撑轴承座410；所述滚珠丝杆组件44的一端延伸至轴承座固定组件48内，并通过联轴器42与驱动电机41的输出端连接，轴承座固定组件48与滚珠丝杆组件44的连接处设有成组角接触轴承43；所述滚珠丝杆组件44的另一端通过深沟球轴承45与支撑轴承座410连接，所述轴承座固定组件48和支撑轴承座410均固定在安装底板2上；所述丝杆滑块49滑动设置在滚珠丝杆组件44上，并与连接板5的底部连接； 所述X轴传动组件401还包括密封壳体46和差抽组件47；所述密封壳体46与轴承座固定组件48连接固定，驱动电机41密封设置在密封壳体46中，密封壳体46内填充惰性气体；所述密封壳体46上设有多个差抽组件47，所述差抽组件47用于降低密封壳体46内外的压差。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人中国电子科技集团公司第四十八研究所，其通讯地址为：410111 湖南省长沙市天心区新开铺路1025号；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。