深圳大学叶凡获国家专利权
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龙图腾网获悉深圳大学申请的专利一种铜-氮化锌锡肖特基结的制备方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN119506803B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-09-30发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202411630221.7，技术领域涉及：C23C14/35；该发明授权一种铜-氮化锌锡肖特基结的制备方法是由叶凡;赵子程;梁建林;高乾;蔡兴民;张东平设计研发完成，并于2024-11-12向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种铜-氮化锌锡肖特基结的制备方法在说明书摘要公布了：本发明公开了一种铜‑氮化锌锡肖特基结及其制备方法，其中，所述方法包括步骤：在流动的氮气及氩气气氛中，将Zn：Sn＝5：1的锌锡合金靶通过射频溅射法沉积在衬底上，即得到氮化锌锡薄膜。在流动的氩气气氛中，在300～400℃环境中，对氮化锌锡薄膜进行退火，即得到退火的氮化锌锡薄膜。在流动的氩气气氛中，将铜靶通过直流溅射法沉积在退火的氮化锌锡薄膜上，即得到铜‑氮化锌锡肖特基结。本发明解决了现有方法制备的铜‑氮化锌锡肖特基结整流效果差且没有光伏效果的问题。
本发明授权一种铜-氮化锌锡肖特基结的制备方法在权利要求书中公布了：1.一种铜‑氮化锌锡肖特基结的制备方法，其特征在于，包括步骤： 在流动的氮气及氩气气氛中，将Zn：Sn＝5：1的锌锡合金靶通过射频溅射法沉积在衬底上，即得到氮化锌锡薄膜；在流动的氩气气氛中，在一定温度下将氮化锌锡薄膜进行退火； 在流动的氩气气氛中，将铜靶通过直流溅射法沉积在氮化锌锡薄膜上，即得到铜‑氮化锌锡肖特基结。
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1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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