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龙图腾网获悉三和技研股份有限公司申请的专利晶圆定位装置与方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN119542223B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-09-30发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202311092346.4，技术领域涉及：H01L21/68；该发明授权晶圆定位装置与方法是由林山合设计研发完成，并于2023-08-29向国家知识产权局提交的专利申请。

本晶圆定位装置与方法在说明书摘要公布了：本发明提供一种晶圆定位装置，其控制器接收晶圆的外缘的影像数据，并透过影像数据的一阶导数及二阶导数配合多项式回归运算来算出晶圆的外缘的定位特征的精确位置，将影像数据中的定位特征排除后，根据排除定位特征的影像数据计算出晶圆的中心偏移量，以及接着计算出补正角度与X‑Y补正量。控制器接着依据补正角度控制驱动装置控制旋转平台模块旋转以使定位特征转动到指定角度，以及依据X‑Y补正量控制晶圆定位装置的驱动装置使晶圆于晶圆定位装置的旋转平台模块的水平平面进行移动使晶圆的圆心对准旋转平台模块的指定位置。

本发明授权晶圆定位装置与方法在权利要求书中公布了：1.一种晶圆定位装置，其特征在于，包括： 一旋转平台模块11，用于承载一晶圆WF，并用于旋转以旋转该晶圆WF； 一光源12，设置于该旋转平台模块11的一外侧，并用于发射一光线，以照射该晶圆WF的一外缘； 一影像捕获设备13，设置于该旋转平台模块11的该外侧并面向该光源12，用于获取该晶圆WF的该外缘的一影像数据； 一控制器14，电性连接该光源12与影像捕获设备13，用于接收该影像数据，并透过该影像数据的一一阶导数及一二阶导数配合一多项式回归运算来算出该晶圆WF的该外缘的一定位特征的一精确位置，将该影像数据中的该定位特征排除后，根据排除该定位特征的该影像数据计算出该晶圆WF的一中心偏移量，以及根据该定位特征的该精确位置与该中心偏移量计算出一补正角度，以及根据该中心偏移量及该补正角度计算出一X‑Y补正量；以及一驱动装置15，电性连接该控制器14，及连接该旋转平台模块11，其中该控制器14依据该补正角度控制该驱动装置15驱动该旋转平台模块11旋转以使该定位特征转动到一指定角度，以及该控制器14依据该X‑Y补正量控制该驱动装置15驱动该旋转平台模块11使该晶圆WF于该旋转平台模块11的一水平平面进行移动以使该晶圆WF的一圆心对准该旋转平台模块11的一指定位置。

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