买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！

龙图腾网获悉清华大学申请的专利一种电磁振动空化辅助的化学机械抛光装置及方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN119635525B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-09-30发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202411902918.5，技术领域涉及：B24B37/11；该发明授权一种电磁振动空化辅助的化学机械抛光装置及方法是由刘宇宏;王燎原;凤天翔;刘磊;王浩宇设计研发完成，并于2024-12-23向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种电磁振动空化辅助的化学机械抛光装置及方法在说明书摘要公布了：本发明提出一种电磁振动空化辅助的化学机械抛光装置及方法，装置包括：抛光盘、安装架、抛光主轴与安装盘，抛光主轴安装于安装架上，抛光主轴包括连接轴、空心转轴、定子套筒与竖直浮动机构，竖直浮动机构连接于连接轴与空心转轴之间，竖直浮动机构驱动空心转轴旋转的同时在竖直方向往复震动，定子套筒的外侧开设有用于通入抛光液的进液口，安装盘连接于空心转轴的底部，安装盘的底部夹持工件，进液口注入的药剂均匀涂覆于工件的下表面。本发明使抛光液进入工件与抛光盘之间形成液膜，在安装盘与抛光盘相对旋转时，可提高工件抛光的均匀性。通过设置竖直浮动机构，可在安装盘与抛光盘相对旋转的同时，使工件相对抛光盘轴向振动，提高抛光效率。

本发明授权一种电磁振动空化辅助的化学机械抛光装置及方法在权利要求书中公布了：1.一种电磁振动空化辅助的化学机械抛光装置，其特征在于，包括： 抛光盘； 安装架，所述安装架设于所述抛光盘的上方，所述安装架上安装有主轴伺服电机，所述主轴伺服电机的输出轴竖直向下，所述主轴伺服电机的输出轴的旋转方向与所述抛光盘的旋转方向相反； 抛光主轴，所述抛光主轴安装于所述安装架上，所述主轴伺服电机连接并驱动所述抛光主轴沿z轴旋转，所述抛光主轴包括连接轴、空心转轴、定子套筒与竖直浮动机构，所述连接轴与所述主轴伺服电机的输出轴之间通过联轴器连接，所述竖直浮动机构连接于所述连接轴与所述空心转轴之间，所述竖直浮动机构适于驱动所述空心转轴在沿z轴旋转的同时在竖直方向往复震动，所述定子套筒套设于所述空心转轴的外周，所述定子套筒与空心转轴之间通过转子套筒转动连接，所述空心转轴的内部具有沿轴向的竖直通孔，所述定子套筒的外侧开设有用于通入抛光液的进液口，所述转子套筒与所述空心转轴分别开设有通道，以使所述进液口与所述空心转轴的所述竖直通孔相连通； 安装盘，所述安装盘可拆卸连接于所述空心转轴的底部，所述安装盘的底部开设有用于夹持工件的安装槽，所述安装盘的中心开设有出液孔，所述出液孔与所述竖直通孔相连通，以使所述进液口注入的药剂均匀涂覆于所述工件的下表面，所述工件的下表面适于与所述抛光盘的上表面接触进行抛光。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人清华大学，其通讯地址为：100084 北京市海淀区清华园；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。