无锡影速半导体科技有限公司李振杰获国家专利权
买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！
龙图腾网获悉无锡影速半导体科技有限公司申请的专利一种直写成像式曝光设备的曝光方法和曝光系统获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN119717413B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-09-30发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202510169523.7，技术领域涉及：G03F7/20；该发明授权一种直写成像式曝光设备的曝光方法和曝光系统是由李振杰;陈海巍;吴长江设计研发完成，并于2025-02-17向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种直写成像式曝光设备的曝光方法和曝光系统在说明书摘要公布了：本发明公开了一种直写成像式曝光设备的曝光方法和曝光系统，方法包括：获取第一面的至少两个第一标记点的实际位置；根据各第一标记点的实际位置和各第一标记点的理论位置的偏差，确定第一面偏位情况，并在第一面未偏位时采用预设曝光条件执行第一面的曝光；在第一面曝光完成后，获取第二面的至少两个第二标记点的实际位置；根据各第二标记点的实际位置和各第二标记点的理论位置的偏差，确定第二面的偏位情况；在第二面未偏位时，根据各第一标记点的实际位置和各第二标记点的实际位置的偏差，确定待曝光板材的偏位情况，以在待曝光板材未偏位时采用预设曝光条件执行第二面的曝光。利用上述方法，提高了待曝光板材的对位精度和曝光良率。
本发明授权一种直写成像式曝光设备的曝光方法和曝光系统在权利要求书中公布了：1.一种直写成像式曝光设备的曝光方法，其特征在于，所述曝光设备的待曝光板材包括在厚度方向上相互背离的第一面和第二面，所述第一面和所述第二面分别设置有相互对位的第一标记点和第二标记点，包括： 获取所述第一面的至少两个第一标记点的实际位置； 根据各所述第一标记点的实际位置和各所述第一标记点的理论位置的偏差，确定所述第一面的偏位情况，并在所述第一面未偏位时采用预设曝光条件执行所述第一面的曝光； 在所述第一面曝光完成后，获取所述第二面的至少两个第二标记点的实际位置； 根据各所述第二标记点的实际位置和各所述第二标记点的理论位置的偏差，确定所述第二面的偏位情况； 在所述第二面未偏位时，根据各所述第一标记点的实际位置和各所述第二标记点的实际位置的偏差，确定所述待曝光板材的偏位情况，在所述待曝光板材未偏位时采用所述预设曝光条件执行所述第二面的曝光。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人无锡影速半导体科技有限公司，其通讯地址为：214000 江苏省无锡市新吴区菱湖大道200号中国传感网国际创新园F3栋1-3层；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
以上内容由AI智能生成
免责声明
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
开放平台
担保交易
惠及多方
会员特惠
专属平台
适合多方
数据共享
功能齐全
皖公网安备 34010402703815号