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中国科学院长春光学精密机械与物理研究所王孝坤获国家专利权

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龙图腾网获悉中国科学院长春光学精密机械与物理研究所申请的专利基于三测头的大口径准平面光学元件在位轮廓检测方法获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN120521534B

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-09-30发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202511030425.1,技术领域涉及:G01B11/24;该发明授权基于三测头的大口径准平面光学元件在位轮廓检测方法是由王孝坤;曲梓浩;蔡梦雪;戚二辉;宋俊伟;冯健飞;赵映景;侯思远;刘忠凯;李凌众;张学军设计研发完成,并于2025-07-25向国家知识产权局提交的专利申请。

基于三测头的大口径准平面光学元件在位轮廓检测方法在说明书摘要公布了:本发明涉及光学检测领域,尤其涉及一种基于三测头的大口径准平面光学元件在位轮廓检测方法,包括S1:对大口径准平面光学元件的检测点与检测路径进行规划;S2:采用三测头检测装置按照规划的检测路径对大口径准平面光学元件上分布的检测点进行逐点扫描;其中,三测头检测装置的三个激光测头发出的激光分别倾斜入射至大口径准平面光学元件的表面,形成三个测量点,同时获得三个激光测头到测量点的距离值;S3:利用三个距离值计算三个测量点的空间坐标并进行平面拟合,得到检测点的二维斜率;S4:根据每个检测点的二维斜率对大口径准平面光学元件的面形进行重构。本发明能够实现大范围镜面轮廓检测,并能提高镜面轮廓检测精度。

本发明授权基于三测头的大口径准平面光学元件在位轮廓检测方法在权利要求书中公布了:1.一种基于三测头的大口径准平面光学元件在位轮廓检测方法,其特征在于,包括如下步骤: S1:对大口径准平面光学元件的检测点与检测路径进行规划; S2:采用三测头检测装置按照规划的检测路径对大口径准平面光学元件上分布的检测点进行逐点扫描;其中,三测头检测装置的三个激光测头发出的激光分别倾斜入射至大口径准平面光学元件的表面,形成三个测量点,同时获得三个激光测头到测量点的距离值; S3:利用三个距离值计算三个测量点的空间坐标,再对三个测量点的空间坐标进行平面拟合,得到检测点的二维斜率; S4:根据每个检测点的二维斜率对大口径准平面光学元件的面形进行重构;步骤S4具体包括如下步骤: S41:基于检测点的二维斜率与矢高之间的关系构建面形重构模型; S42:使用最小二乘法对面形重构模型进行求解,得到每个检测点的矢高Z; S43:将各个检测点的矢高Z相组合,得到大口径准平面光学元件重构后的面形; 检测点的二维斜率与矢高之间的关系为: ; ; 其中,表示检测点i,j在x方向上的斜率,表示检测点i,j+1在x方向上的斜率,表示检测点i,j在y方向上的斜率,表示检测点i,j+1在y方向上的斜率,表示检测点i,j的矢高,表示检测点i,j+1的矢高,表示两个检测点之间的距离,表示x方向或y方向的检测点数量; 构建的面形重构模型为: ; 其中,K表示合并所有检测点在x方向上的斜率与在y方向上的斜率构成的列向量;S表示系数矩阵,为的稀疏矩阵;Z表示所有检测点矢高构成的列向量; 使用最小二乘法对面形重构模型进行求解的公式: ; 其中,表示是系数矩阵S的转置。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术,可联系本专利的申请人或专利权人中国科学院长春光学精密机械与物理研究所,其通讯地址为:130033 吉林省长春市经济技术开发区东南湖大路3888号;或者联系龙图腾网官方客服,联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

以上内容由龙图腾AI智能生成。

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