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龙图腾网获悉江苏捷捷微电子股份有限公司申请的专利一种晶圆键合强度表征方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN120542337B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-09-30发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202511038292.2，技术领域涉及：G06F30/33；该发明授权一种晶圆键合强度表征方法是由陈英杰设计研发完成，并于2025-07-28向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种晶圆键合强度表征方法在说明书摘要公布了：本发明公开了一种晶圆键合强度表征方法，涉及晶圆键合测试领域，该方法包括：搭建界面断裂力学的三维测试模型，分析测试过程中加载点产生的总挠度与剪切模量，并结合裂纹长度生成三维测试模型对应的柔量模拟计算模型；基于晶圆键合的实际模型状态优化柔量模拟计算模型，得到柔量计算模型，并结合柔量与裂纹长度之间的关系，构建能量释放率计算模型；利用拉力机对键合样品进行加载处理，根据加载结果分析键合样品的峰值载荷，并结合柔量计算模型及能量释放率计算模型，获取键合样品的键合强度。本发明通过实验得到的样品柔量计算裂纹长度，代入至柔量计算模型与能量释放率计算模型内获取键合强度表征结果，测量方法简单，测量结果更为准确。

本发明授权一种晶圆键合强度表征方法在权利要求书中公布了：1.一种晶圆键合强度表征方法，其特征在于，该表征方法包括： 搭建界面断裂力学的三维测试模型，分析测试过程中加载点产生的总挠度与剪切模量，并结合裂纹长度生成三维测试模型对应的柔量模拟计算模型； 基于晶圆键合的实际模型状态优化柔量模拟计算模型，得到柔量计算模型，并结合柔量与裂纹长度之间的关系，构建能量释放率计算模型； 利用拉力机对键合样品进行加载处理，根据加载结果分析键合样品的峰值载荷，并结合柔量计算模型及能量释放率计算模型，获取键合样品的键合强度； 所述搭建界面断裂力学的三维测试模型，分析测试过程中加载点产生的总挠度与剪切模量，并结合裂纹长度生成三维测试模型对应的柔量模拟计算模型包括： 基于界面抗断裂能力表征技术搭建三维测试模型，执行断裂模式测试，并获取三维测试模型中拉环末端至初始裂纹前端的距离及拉环长度，计算裂纹长度； 利用欧拉伯努利技术与温克勒理论调整三维测试模型的测试状态，获取梁在横轴方向上的弹性模量与截面惯性矩，并基于弹性模量与截面惯性矩确定三维测试模型的梁挠度函数； 根据梁挠度函数与弹性地基梁模型计算断裂模式测试过程中任意两组载荷点的挠度，生成总挠度计算函数，并基于剪切形变的附加影响与剪切模量修正总挠度计算函数； 基于裂纹的界面扩展情况分析梁的地基模量，并根据粘附层的应力变化计算粘附层的地基模量，结合总挠度计算函数生成三维测试模型对应的柔量模拟计算模型； 所述基于裂纹的界面扩展情况分析梁的地基模量，并根据粘附层的应力变化计算粘附层的地基模量，结合总挠度计算函数生成三维测试模型对应的柔量模拟计算模型包括： 基于裂纹的界面扩展情况定义梁与粘附层串联的地基模量，分析梁在纵向方向上的弹性模型，并计算梁的地基模量； 根据粘附层的泊松比与宽度计算粘附层的横向应力，分析粘附层的地基模量，并结合三维测试模型结构得到三维测试模型中上下梁的挠度计算函数； 基于上下梁的挠度计算函数计算三维测试模型在任意加载点产生的总的挠度，并根据总的挠度生成三维测试模型对应的柔量模拟计算模型； 所述基于晶圆键合的实际模型状态优化柔量模拟计算模型，得到柔量计算模型，并结合柔量与裂纹长度之间的关系，构建能量释放率计算模型包括： 根据晶圆键合的实际模型状态将硅晶片作为三维测试模型中两侧的梁，二氧化硅作为粘附层，并结合晶圆键合的杨氏模量与泊松比优化柔量模拟计算模型； 基于柔量与裂纹长度的函数关系，定义三维测试模型中界面裂纹扩展单位面积对应的释放能量计算函数，并结合晶圆键合的键合模型优化释放能量计算函数，得到能量释放率计算模型； 所述利用拉力机对键合样品进行加载处理，根据加载结果分析键合样品的峰值载荷，并结合柔量计算模型及能量释放率计算模型，获取键合样品的键合强度包括： 在将键合样品放置于拉力机夹具后，设定加载速率执行加载操作，观察加载过程直至载荷下降时卸载键合样品，使键合样品回到初始位置； 重复执行加载操作，直至键合样品完全分开时停止加载操作，并将加载过程数据上传至数据储存设备，根据加载过程数据生成载荷位移曲线； 分析载荷位移曲线，获取键合样品的柔量，并结合柔量计算模型与能量释放率计算模型求取测试样品的裂纹长度，获取对应的键合强度。

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