天津吉兆源科技有限公司李树瑜获国家专利权
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龙图腾网获悉天津吉兆源科技有限公司申请的专利一种远程等离子体反应腔室和远程等离子体源系统获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN120545163B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-09-30发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202511033600.2，技术领域涉及：H01J37/32；该发明授权一种远程等离子体反应腔室和远程等离子体源系统是由李树瑜;王超;李晓静;尚健设计研发完成，并于2025-07-25向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种远程等离子体反应腔室和远程等离子体源系统在说明书摘要公布了：本发明公开了一种远程等离子体反应腔室和远程等离子体源系统。远程等离子体反应腔室包括：第一法兰、腔体结构和第二法兰；腔体结构位于第一法兰的一侧，腔体结构包括立体金属开口环、立体金属闭环和多个绝缘支撑柱；其中，立体金属开口环包括开口，立体金属开口环位于立体金属闭环的内壁侧；多个绝缘支撑柱均位于立体金属开口环和立体金属闭环之间，绝缘支撑柱用于支撑立体金属开口环；立体金属开口环复用为第一电极；立体金属闭环复用为第二电极；第二法兰位于腔体结构远离第一法兰的一侧。本发明提供的远程等离子体反应腔室和等离子体源系统，结构简单，且不易破裂，可改善腔体结构易破裂的问题。
本发明授权一种远程等离子体反应腔室和远程等离子体源系统在权利要求书中公布了：1.一种远程等离子体反应腔室，其特征在于，包括： 第一法兰； 腔体结构，位于所述第一法兰的一侧，所述腔体结构包括立体金属开口环、立体金属闭环和多个绝缘支撑柱；其中，所述立体金属开口环包括开口，所述立体金属开口环位于所述立体金属闭环的内壁侧；多个所述绝缘支撑柱均位于所述立体金属开口环和所述立体金属闭环之间，所述绝缘支撑柱用于支撑所述立体金属开口环；所述立体金属开口环复用为第一电极；所述立体金属闭环复用为第二电极； 第二法兰，位于所述腔体结构远离所述第一法兰的一侧。
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