苏州大学曹冰获国家专利权
买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！
龙图腾网获悉苏州大学申请的专利一种非极性a面氮化镓外延结构及其准备方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN120556136B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-09-30发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202511047892.5，技术领域涉及：C30B25/18；该发明授权一种非极性a面氮化镓外延结构及其准备方法是由曹冰;夏天;刘淼设计研发完成，并于2025-07-29向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种非极性a面氮化镓外延结构及其准备方法在说明书摘要公布了：本发明涉及半导体器件技术领域，特别涉及一种非极性a面氮化镓外延结构及其准备方法。提供r面蓝宝石衬底和少层石墨烯后，将少层石墨烯转移至衬底的生长面，并使少层石墨烯与生长面贴合，制备得到外延基底。外延基底中少层石墨烯表面的褶皱的面积占比小于或等于1%，且最大厚度为0.3nm~0.7nm中的任一值。在外延基底表面进行金属有机化合物化学气相沉积，得到非极性a面氮化镓外延结构。通过少层石墨烯降低了衬底与外延得到的氮化镓外延层间的晶格失配问题，且保证了衬底的静电势能够透过少层石墨烯作用到外延层，还降低了褶皱造成的局部应力或空隙，有助于提高外延层的质量。
本发明授权一种非极性a面氮化镓外延结构及其准备方法在权利要求书中公布了：1.一种非极性a面氮化镓外延结构的准备方法，其特征在于，包括： 提供r面蓝宝石衬底和少层石墨烯； 将所述少层石墨烯转移至所述衬底的生长面，在惰性气氛中以第一温度预加热第三时间后，加热至第二温度退火第四时间，得到外延基底，所述第一温度为300℃~400℃中的任一值，所述第三时间为30min~45min中的任一值，所述第二温度为700℃~900℃中的任一值，所述第四时间为60min~90min中的任一值，所述外延基底中所述少层石墨烯表面的褶皱的面积与总面积的比例小于或等于1%，且所述外延基底中所述少层石墨烯的最大厚度为0.3nm~0.7nm中的任一值； 在所述外延基底表面进行金属有机化合物化学气相沉积，得到非极性a面氮化镓外延结构。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人苏州大学，其通讯地址为：215299 江苏省苏州市吴江区久泳西路1号；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
以上内容由龙图腾AI智能生成。
免责声明
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
开放平台
担保交易
惠及多方
会员特惠
专属平台
适合多方
数据共享
功能齐全
皖公网安备 34010402703815号
请提出您的宝贵建议，有机会获取IP积分或其他奖励