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龙图腾网获悉涌淳半导体(无锡)有限公司申请的专利一种具有抗干扰功能的光学膜厚测量装置获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN120558100B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-09-30发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202511044828.1，技术领域涉及：G01B11/06；该发明授权一种具有抗干扰功能的光学膜厚测量装置是由曹晓光;李峰;邵秋新;张同雷设计研发完成，并于2025-07-29向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种具有抗干扰功能的光学膜厚测量装置在说明书摘要公布了：本发明涉及厚度测量技术领域，公开一种具有抗干扰功能的光学膜厚测量装置，包括测试箱体和测试台，设置于测试箱体一侧的连接线，设置于测试台一侧的集成探头，集成探头和测试箱体之间通过连接线连接，还包括设置于测试台上的样品台，设置于测试台内部的驱动单元，设置于样品台上的旋转同步装置，以及光路稳像补偿模块；驱动单元包括螺线运动部件和防干扰部件；螺线运动部件，用于驱动样品台在自转的同时沿水平方向移动。通过设置的螺线运动部件使得集成探头底部的激光发射点在光学膜片上呈现的轨迹为阿基米德螺线形，可以实现测量的等距径向覆盖，完成全区域扫描，缩短整体测量时间，降低环境变量的影响，具有快速遍历和实时反馈的特性。

本发明授权一种具有抗干扰功能的光学膜厚测量装置在权利要求书中公布了：1.一种具有抗干扰功能的光学膜厚测量装置，包括测试箱体1和测试台11，设置于测试箱体1一侧的连接线12，设置于测试台11一侧的集成探头13，集成探头13和测试箱体1之间通过连接线12连接，其特征在于：还包括设置于测试台11上的样品台14，设置于测试台11内部的驱动单元，设置于样品台14上的旋转同步装置，以及光路稳像补偿模块； 所述驱动单元包括螺线运动部件和防干扰部件； 所述螺线运动部件，用于驱动样品台14在自转的同时沿水平方向移动； 所述防干扰部件，用于减小螺线运动部件带动样品台14运动时产生的轻微机械振动造成样品台14上光学膜片的振动，而影响测量结果； 所述旋转同步装置，用于将样品台14旋转角度信号与干涉仪采样触发同步； 所述光路稳像补偿模块，用于实时校正膜面转动引起的光路偏移； 所述螺线运动部件包括设置于测试台11内部的移动组件2和旋转组件3，所述移动组件2包括设置于测试台11内的步进电机21，设置于步进电机21输出轴一侧的滚珠丝杆22，滚珠丝杆22设置于测试台11内部，设置于滚珠丝杆22内螺母顶部的连接盘23，设置于连接盘23顶部的移动柱24，开设于测试台11中部的移动孔25，且移动柱24的顶部在移动孔25内限位滑动； 所述旋转组件3包括设置于测试台11内部的齿条31，设置于连接盘23内的转动齿32，转动齿32与齿条31啮合连接，设置于转动齿32底部的支撑块33，转动齿32的顶部通过防干扰部件连接有转动柱34，转动柱34在移动柱24内部转动，转动柱34的顶部穿过移动孔25与样品台14连接； 所述防干扰部件包括设置于转动柱34内部的缓冲组件4，所述缓冲组件4包括设置于转动齿32顶部的滑动柱41，对称设置于滑动柱41两侧的滑动块42，且滑动柱41通过两侧的滑动块42整体限位滑动于转动柱34内，开设于转动柱34内与滑动柱41和滑动块42相匹配的缓冲槽43。

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