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龙图腾网获悉无锡展硕科技有限公司申请的专利一种半导体晶圆用静电吸盘吸附力均匀性检测装置获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN120593943B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-09-30发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202511099677.X，技术领域涉及：G01L5/00；该发明授权一种半导体晶圆用静电吸盘吸附力均匀性检测装置是由张虎设计研发完成，并于2025-08-07向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种半导体晶圆用静电吸盘吸附力均匀性检测装置在说明书摘要公布了：本发明涉及应用于半导体领域的一种半导体晶圆用静电吸盘吸附力均匀性检测装置，本装置先通过被动吸附膜来模拟被吸附的工件，然后通过吸附力扫描组件对被动吸附膜进行旋转扫描，扫描的过程中对被动吸附膜进行反吸，利用分布式传感光纤一来识别因吸附力不足而被反吸凸起的区域，并通过定位件将此区域直接反馈到外部，从而实现对吸附力不足区域的直观定位，方便检测人员后期调整，在扫描的同时还通过平整度扫描组件对静电吸盘的表面平整度进行检测，在静电吸盘因受热影响而产生较大变形时能及时将其检测出来并定位，有效防止静电吸盘对晶圆的加工精度造成影响。

本发明授权一种半导体晶圆用静电吸盘吸附力均匀性检测装置在权利要求书中公布了：1.一种半导体晶圆用静电吸盘吸附力均匀性检测装置，包括静电吸盘1、罩在静电吸盘1上的透明检测罩2，其特征在于：所述透明检测罩2开设有开口朝下的检测腔，且检测腔的内壁固定连接有与静电吸盘1贴合的被动吸附膜3，所述透明检测罩2的上端中部安装有驱动电机4，且检测腔内部安装有与驱动电机4的输出端连接的驱动轴，所述驱动轴的底端固定连接有与被动吸附膜3贴合的吸附力扫描组件5，且驱动轴位于吸附力扫描组件5的上端固定连接有定位件6，所述检测腔的上端内壁固定连接有与透明检测罩2上端贴合的力致变色膜7； 所述吸附力扫描组件5包括抚平座501、固定连接在抚平座501前进方向一侧的电磁反吸板502、以及放置在电磁反吸板502正下方的分布式传感光纤一503，所述抚平座501靠近电磁反吸板502的侧壁开设有凹槽，所述分布式传感光纤一503的两端均固定连接有延伸至凹槽内部的支撑臂504，且两个支撑臂504同时与凹槽的内壁转动连接，两个所述支撑臂504上端之间固定连接有随转柱505，所述凹槽的内壁固定连接有与支撑臂504旋转中心同圆心的旋转角度检测座506，且旋转角度检测座506的外表面固定镶嵌有导电片，所述随转柱505上固定镶嵌有垂直于导电片的导线，所述导电片和导线共同组成导通电路，且抚平座501内部安装有与导通电路连接的电流检测装置，所述抚平座501上还安装有与分布式传感光纤一503信号连接的总控处理器，且总控处理器与定位件6信号连接； 所述被动吸附膜3包括与静电吸盘1贴合的静电吸附层301、与吸附力扫描组件5贴合的无摩擦扫描层303、以及位于静电吸附层301与无摩擦扫描层303之间的磁性反吸层302，所述电磁反吸板502通电后对磁性反吸层302产生吸力，且电磁反吸板502对磁性反吸层302的最大磁吸力小于静电吸盘1工作时的静电吸附力。

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