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龙图腾网获悉南京琅璃材料有限公司申请的专利一种LTCC基板表面平整度控制工艺方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN120600637B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-09-30发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202511093606.9，技术领域涉及：H01L21/48；该发明授权一种LTCC基板表面平整度控制工艺方法是由张一昉;沈剑;刘煜设计研发完成，并于2025-08-06向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种LTCC基板表面平整度控制工艺方法在说明书摘要公布了：本发明公开了一种LTCC基板表面平整度控制工艺方法，涉及LTCC基板加工技术领域，该方法包括：获取待烧结的目标LTCC基板内叠加的信号层、电源层和地线层的结构信息；确定K个初始通道流量和K个初始气流方向；获得多点温度时序监测值阵列序列；获得K个调整通道流量和K个调整气流方向；当目标LTCC基板冷却后，获得目标LTCC基板和表面平整度检测结果，并根据表面平整度检测结果进行反馈调节，再次对目标LTCC基板进行烧结。本发明解决了现有技术中缺乏对烧结炉内运行情况的深入解析，导致无法适应性进行气流调整，使基板表面平整度可靠性降低的技术问题。达到了动态调节烧结炉内气流，提高基板表面平整度的技术效果。

本发明授权一种LTCC基板表面平整度控制工艺方法在权利要求书中公布了：1.一种LTCC基板表面平整度控制工艺方法，其特征在于，所述方法包括： 获取待烧结的目标LTCC基板内叠加的信号层、电源层和地线层的结构信息，获得信号线结构信息、电源网格结构信息和地线网格结构信息； 基于所述信号线结构信息、电源网格结构信息和地线网格结构信息，对烧结炉内K个独立气流通道进行通道流量和气流方向识别，确定K个初始通道流量和K个初始气流方向，其中，K为正整数； 将所述目标LTCC基板送入烧结炉内进行排胶和烧结，并利用温度监测阵列对所述目标LTCC基板按照预设监测窗口进行多点温度时序监测，获得多点温度时序监测值阵列序列； 对所述多点温度时序监测值阵列序列进行温度均衡性解析，并根据解析结果对所述K个初始通道流量和K个初始气流方向进行调整，获得K个调整通道流量和K个调整气流方向； 根据所述K个调整通道流量和K个调整气流方向，对所述K个独立气流通道进行调节，直至烧结完成，按照预设气流量降低梯度对所述K个独立气流通道进行气流量降低，当所述目标LTCC基板冷却后，获得烧结完成的目标LTCC基板，并进行表面平整度检测，获得表面平整度检测结果，若所述表面平整度检测结果不满足要求，根据所述表面平整度检测结果对所述K个独立气流通道进行调整，再次对所述目标LTCC基板进行烧结。

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