横店集团东磁股份有限公司刘祖利获国家专利权
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龙图腾网获悉横店集团东磁股份有限公司申请的专利一种硅片清洗机的高效配液装置获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN223393377U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-09-30发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202422638597.4,技术领域涉及:B01F35/71;该实用新型一种硅片清洗机的高效配液装置是由刘祖利;李永久;蔡凯;任良为设计研发完成,并于2024-10-30向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种硅片清洗机的高效配液装置在说明书摘要公布了:本实用新型公开了一种硅片清洗机的高效配液装置,包括并列设置的第一槽体和第二槽体,第一槽体和第二槽体的上方设有集液桶,集液桶的底部分别连接有与第一槽体以及第二槽体对应的配液管,配液管上安装有配液阀,集液桶的上方分别设有第一计量桶和第二计量桶,第一计量桶的底部连接有与集液桶连通的加液管,加液管上安装有加液阀,第一计量桶上设有加药管,加药管上安装有加药阀。本实用新型通过第一计量桶和第二计量桶进行交替加液,保证了加液的连续性;本实用新型通过液位计监测计量桶内的液位,通过计量桶内的液位变化来判断槽体内的液位,既能保证大计量配液使用,又能确保所配液精度在使用范围内。
本实用新型一种硅片清洗机的高效配液装置在权利要求书中公布了:1.一种硅片清洗机的高效配液装置,其特征在于:包括并列设置的第一槽体和第二槽体,第一槽体和第二槽体的上方设有集液桶,集液桶的底部分别连接有与第一槽体以及第二槽体对应的配液管,配液管上安装有配液阀,集液桶的上方分别设有第一计量桶和第二计量桶,第一计量桶的底部连接有与集液桶连通的加液管,加液管上安装有加液阀,第一计量桶上设有加药管,加药管上安装有加药阀,第二计量桶的结构与第一计量桶的结构相同。
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