安徽万维克林精密装备有限公司周尤获国家专利权
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龙图腾网获悉安徽万维克林精密装备有限公司申请的专利一种槽式全自动硅片清洗设备获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN223393965U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-09-30发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202422603225.8,技术领域涉及:B08B3/12;该实用新型一种槽式全自动硅片清洗设备是由周尤;姚华东;班恒生;刘柏宏设计研发完成,并于2024-10-28向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种槽式全自动硅片清洗设备在说明书摘要公布了:本实用新型提供了一种槽式全自动硅片清洗设备,包括:清洗槽组件,所述清洗槽组件上设有清洗区,所述清洗区设有超声波发生设备;第一提升机构和第二提升机构,所述第一提升机构和第二提升机构设置在清洗区的两侧,所述第一提升机构和第二提升机构之间放置用于放置硅片的提篮;推动机构,所述推动机构包括连杆、推动块和滑动杆,所述滑动杆数量为两组且相互之间通过连杆连接,所述推动块设置滑动杆前端,不同推动块上设有的斜面并分别与第一提升机构和第二提升机构接触连接。本实用新型所提供的第一提升机构和第二提升机构作为提篮的提升组件,减少进入清洗区内进行提篮提取的操作,便于人工或者机械臂进行提取。
本实用新型一种槽式全自动硅片清洗设备在权利要求书中公布了:1.一种槽式全自动硅片清洗设备,其特征在于,包括: 清洗槽组件,所述清洗槽组件上设有清洗区,所述清洗区设有超声波发生设备; 第一提升机构和第二提升机构,所述第一提升机构和第二提升机构设置在清洗区的两侧,所述第一提升机构和第二提升机构之间放置用于放置硅片的提篮; 推动机构,所述推动机构包括连杆、推动块和滑动杆,所述滑动杆数量为两组且相互之间通过连杆连接,所述推动块设置滑动杆前端,不同推动块上设有的斜面并分别与第一提升机构和第二提升机构接触连接。
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