北京特思迪半导体设备有限公司郭宇浩获国家专利权
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龙图腾网获悉北京特思迪半导体设备有限公司申请的专利一种主轴体倾角调节装置以及晶圆减薄机获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN223395520U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-09-30发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202422772295.6,技术领域涉及:B28D5/00;该实用新型一种主轴体倾角调节装置以及晶圆减薄机是由郭宇浩;夏勇杰;寇明虎设计研发完成,并于2024-11-14向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种主轴体倾角调节装置以及晶圆减薄机在说明书摘要公布了:本申请提供一种主轴体倾角调节装置以及晶圆减薄机,涉及半导体制造技术领域,包括主轴体和轴壳体,所述主轴体穿设在所述轴壳体的内部,还包括:主轴法兰,位于所述主轴体的下方,与所述主轴体的底部之间设置为可拆卸式连接;轴壳法兰,位于所述主轴法兰的下方,与所述轴壳体底部之间设置为可拆卸式连接;调节机构,位于所述主轴法兰和所述轴壳法兰之间,用于改变所述主轴法兰及所述主轴体的倾斜角度。解决了相关技术中主轴体安装不便的缺陷。
本实用新型一种主轴体倾角调节装置以及晶圆减薄机在权利要求书中公布了:1.一种主轴体倾角调节装置,包括主轴体1和轴壳体2,所述主轴体1穿设在所述轴壳体2的内部,其特征在于,包括: 主轴法兰3,位于所述主轴体1的下方,与所述主轴体1的底部之间设置为可拆卸式连接; 轴壳法兰4,位于所述主轴法兰3的下方,与所述轴壳体2底部之间设置为可拆卸式连接; 调节机构5,位于所述主轴法兰3和所述轴壳法兰4之间,用于改变所述主轴法兰3及所述主轴体1的倾斜角度。
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