苏州施密科微电子设备有限公司刘金升获国家专利权
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龙图腾网获悉苏州施密科微电子设备有限公司申请的专利一种全自动晶圆槽式清洗机前置花篮运送系统获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223397012U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-09-30发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202422461744.5，技术领域涉及：B65G47/90；该实用新型一种全自动晶圆槽式清洗机前置花篮运送系统是由刘金升;谢延锋;陈飞设计研发完成，并于2024-10-12向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种全自动晶圆槽式清洗机前置花篮运送系统在说明书摘要公布了：本实用新型公开了一种全自动晶圆槽式清洗机前置花篮运送系统，包括机械背板；所述机械背板内部位置处阵列设置有X轴滑轨，所述机械背板由多个金属板连接而成，所述机械背板外侧位置处设置有前置运送机械手箱体，所述前置运送机械手箱体顶部位置处设置有治具主体；所述前置运送机械手箱体内部位置处设置有升降柱固定座，所述前置运送机械手箱体内部左右两侧位置处分别设置有线槽，所述前置运送机械手箱体底部位置设置有Z轴电机；该系统通过ZX轴电机、滚珠丝杆等实现高精度自动化运行，升降与横移结构稳定减振。线槽拖链便于线缆管理维护，限位块保障安全，传感器槽实现位置监控。夹爪与滑轨适配多工件，感应杆提升操作准确性，整体紧凑省空间。
本实用新型一种全自动晶圆槽式清洗机前置花篮运送系统在权利要求书中公布了：1.一种全自动晶圆槽式清洗机前置花篮运送系统，包括机械背板18； 所述机械背板18内部位置处阵列设置有X轴滑轨24，所述机械背板18由多个金属板连接而成，所述机械背板18外侧位置处设置有前置运送机械手箱体27，所述前置运送机械手箱体27顶部位置处设置有治具主体1； 其特征在于：所述前置运送机械手箱体27内部位置处设置有升降柱固定座23，所述前置运送机械手箱体27内部左右两侧位置处分别设置有线槽9，所述前置运送机械手箱体27底部位置设置有Z轴电机15。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人苏州施密科微电子设备有限公司，其通讯地址为：215000 江苏省苏州市相城区渭塘镇钻石路1979号2号车间北；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
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