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华辰芯光(无锡)半导体有限公司孙甲志获国家专利权

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龙图腾网获悉华辰芯光(无锡)半导体有限公司申请的专利一种保护电阻加热丝氧化的石墨盘获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN223397796U

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-09-30发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202422720747.6,技术领域涉及:C23C16/18;该实用新型一种保护电阻加热丝氧化的石墨盘是由孙甲志;余小明;冷祥;魏明设计研发完成,并于2024-11-08向国家知识产权局提交的专利申请。

一种保护电阻加热丝氧化的石墨盘在说明书摘要公布了:本申请涉及一种保护电阻加热丝氧化的石墨盘,涉及MOCVD设备技术领域,包括基座与石墨盘,所述石墨盘的底部一体固定有底环,所述基座的顶部一体固定有顶环,所述石墨盘的底部开设有供顶环嵌入的环槽一,所述基座的顶部开设有供底环嵌入的环槽二。本申请中,底环与环槽一的槽壁、顶环与环槽二的槽壁组合形成弯折的接触面,提升石墨盘与基座间的密封性,减少氧化物质的侵入;基座与石墨盘组合后,基座与石墨盘通过端面紧贴,通过定位销使基座与石墨盘准确定位,并限制基座与石墨盘自发分离;通过陶瓷密封圈一、陶瓷密封圈二进一步提升密封性,从而保护电阻加热丝免受氧化,使电阻加热丝长时间保持参数稳定,保持较高的加热效率。

本实用新型一种保护电阻加热丝氧化的石墨盘在权利要求书中公布了:1.一种保护电阻加热丝氧化的石墨盘,其特征在于:包括基座1与石墨盘2,所述石墨盘2的底部一体固定有底环11,所述基座1的顶部一体固定有顶环21,所述石墨盘2的底部开设有供顶环21嵌入的环槽一22,所述基座1的顶部开设有供底环11嵌入的环槽二12。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术,可联系本专利的申请人或专利权人华辰芯光(无锡)半导体有限公司,其通讯地址为:214142 江苏省无锡市新吴区锡梅路111-10号;或者联系龙图腾网官方客服,联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

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