南京南智先进光电集成技术研究院有限公司尹志军获国家专利权
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龙图腾网获悉南京南智先进光电集成技术研究院有限公司申请的专利一种快速测量晶圆粗糙度的装置获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223400351U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-09-30发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202422125125.9，技术领域涉及：G01B11/30；该实用新型一种快速测量晶圆粗糙度的装置是由尹志军;叶志霖;许家荣;谢家玉;汤济;包晓清设计研发完成，并于2024-08-30向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种快速测量晶圆粗糙度的装置在说明书摘要公布了：本实用新型涉及一种快速测量晶圆粗糙度的装置。本实用新型包括底座、托盘、光源和CCD图像传感器，所述托盘安装于底座上，所述光源安装于托盘上，所述CCD图像传感器位于托盘中心上方，所述光源由外壳、半导体激光器和柱透镜组成，所述半导体激光器与柱透镜相连接，外壳包裹半导体激光器，一侧露出柱透镜；半导体激光器采用边发射的半导体激光器，垂直方向为快轴，水平方向为慢轴；所述柱透镜能对快轴发散的激光进行准直，使得所述半导体激光器快轴的激光的发散角度缩小。与现有技术相比，本实用新型的有益效果为测量速度快的同时具有较高的测量精度。
本实用新型一种快速测量晶圆粗糙度的装置在权利要求书中公布了：1.一种快速测量晶圆粗糙度的装置，包括底座1、托盘2、光源3和CCD图像传感器4，所述托盘2安装于底座1上，所述光源3安装于托盘2上，所述CCD图像传感器4位于托盘2中心上方，其特征在于，所述光源3由外壳3‑1、半导体激光器3‑3和柱透镜3‑2组成，其中：所述半导体激光器3‑3与柱透镜3‑2相连接，外壳3‑1包裹半导体激光器3‑3，一侧露出柱透镜3‑2； 所述半导体激光器3‑3采用边发射的半导体激光器，垂直方向为快轴，水平方向为慢轴； 所述柱透镜3‑2能对快轴发散的激光进行准直，使得所述半导体激光器3‑3快轴的激光的发散角度缩小。
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