捷捷微电(南通)科技有限公司章尧获国家专利权
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龙图腾网获悉捷捷微电(南通)科技有限公司申请的专利一种风扇运行检测装置与晶圆加工系统获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223400781U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-09-30发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202422613302.8，技术领域涉及：G01N15/06；该实用新型一种风扇运行检测装置与晶圆加工系统是由章尧;吴胜荣;张曙光设计研发完成，并于2024-10-29向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种风扇运行检测装置与晶圆加工系统在说明书摘要公布了：本申请提供了一种风扇运行检测装置与晶圆加工系统，涉及晶圆加工技术领域。该风扇运行检测装置应用于晶圆加工系统，晶圆加工系统包括风扇，且风扇通过出风口出风；风扇运行检测装置包括金属片、电源、感应片以及报警器，电源分别与金属片、报警器电连接，报警器还与感应片电连接；金属片与靠近出风口的位置转动连接，感应片也设置于靠近出风口的位置；当风扇正常工作时，金属片与感应片分离；当风扇异常工作时，金属片与感应片接触，以使报警器报警。本申请提供的风扇运行检测装置与晶圆加工系统具有能够实时对风扇运行状态进行检测，降低了生产成本的优点。
本实用新型一种风扇运行检测装置与晶圆加工系统在权利要求书中公布了：1.一种风扇运行检测装置，其特征在于，应用于晶圆加工系统，所述晶圆加工系统包括风扇，且所述风扇通过出风口出风；所述风扇运行检测装置包括金属片、电源、感应片以及报警器，所述电源分别与所述金属片、所述报警器电连接，所述报警器还与所述感应片电连接； 所述金属片与靠近所述出风口的位置转动连接，所述感应片也设置于靠近所述出风口的位置； 当所述风扇正常工作时，所述金属片与所述感应片分离； 当所述风扇异常工作时，所述金属片与所述感应片接触，以使所述报警器报警。
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