费勉仪器科技(上海)有限公司余燕获国家专利权
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龙图腾网获悉费勉仪器科技(上海)有限公司申请的专利粒子束成分测量装置获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223401050U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-09-30发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202422408762.7，技术领域涉及：G01T1/29；该实用新型粒子束成分测量装置是由余燕;谢斌平;董金奎;成锐;李文杰设计研发完成，并于2024-10-08向国家知识产权局提交的专利申请。
本粒子束成分测量装置在说明书摘要公布了：本公开涉及真空设备技术领域，公开了一种粒子束成分测量装置，包括真空腔体、气体源、低温泵和残余气体分析仪。气体源与真空腔体真空密封连接，用于产生粒子束。低温泵包括泵腔，泵腔与真空腔体真空密封连接并连通，泵腔包括残余气体分析仪接口。残余气体分析仪与残余气体分析仪接口真空密封连接，用于测量泵腔内的气体成分。
本实用新型粒子束成分测量装置在权利要求书中公布了：1.一种粒子束成分测量装置，其特征在于，包括： 真空腔体； 气体源，与所述真空腔体真空密封连接，用于产生粒子束； 低温泵，包括泵腔，所述泵腔与所述真空腔体真空密封连接并连通，所述泵腔包括残余气体分析仪接口；以及残余气体分析仪，与所述残余气体分析仪接口真空密封连接，用于测量所述泵腔内的气体成分。
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