立川(无锡)半导体设备有限公司林邦羽获国家专利权
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龙图腾网获悉立川(无锡)半导体设备有限公司申请的专利一种晶圆扫片切换机构获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223401055U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-09-30发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202422971694.5，技术领域涉及：G01V8/26；该实用新型一种晶圆扫片切换机构是由林邦羽;沈阳;翁鑫晶设计研发完成，并于2024-12-03向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种晶圆扫片切换机构在说明书摘要公布了：本实用新型涉及一种晶圆扫片切换机构，属于晶圆检测技术领域。该机构包括基座，基座顶部设有扫片移动气缸、复位传感器、移动到位传感器、对射型扫片光纤传感器、切换气缸、切换连杆机构、8寸和12寸扫片传感器及感应片。8寸扫片传感器在12寸扫片传感器上方，12寸扫片感应片在8寸扫片感应片内侧，切换连杆机构两侧有对射型扫片光纤传感器，扫片切换气缸在其下方，复位与移动到位传感器在基座顶部左侧，扫片移动气缸在右侧，基座顶部两侧都有8寸和12寸相关部件。通过气缸、连杆机构和光电传感器配合，能使对射型扫片光纤传感器在不同扫片尺寸间切换，可对不同尺寸晶圆扫描，提高了晶圆扫片的适用性。
本实用新型一种晶圆扫片切换机构在权利要求书中公布了：1.一种晶圆扫片切换机构，包括基座1，其特征在于：所述基座1的顶部设置有扫片移动气缸2、扫片复位传感器3、扫片移动到位传感器4、对射型扫片光纤传感器5、扫片切换气缸6、切换连杆机构7、8寸扫片传感器8、12寸扫片传感器9、8寸扫片感应片10、12寸扫片感应片11，所述基座1用于安装连接各个部件。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人立川(无锡)半导体设备有限公司，其通讯地址为：214026 江苏省无锡市滨湖区建筑西路777号A10幢2层206；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
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