合肥芯碁微电子装备股份有限公司张文龙获国家专利权
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龙图腾网获悉合肥芯碁微电子装备股份有限公司申请的专利一种用于LDI设备的气动遮光装置获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223401139U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-09-30发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202422670377.X，技术领域涉及：G03F7/20；该实用新型一种用于LDI设备的气动遮光装置是由张文龙设计研发完成，并于2024-10-31向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种用于LDI设备的气动遮光装置在说明书摘要公布了：本实用新型公开了一种用于LDI设备的气动遮光装置，包括与激光系统连接的安装组件；设置在安装组件上的遮光组件，该遮光组件能够遮挡激光光束照射到基材表面；以及设置在安装组件上的气动组件，该气动组件能够在气动装置推动激光系统时推动遮光组件相对激光光束移动。本实用新型通过设置气动滑台推动遮光板沿安装板移动，使得遮光板的顶面与激光光束的间距恒定，使得激光光束在遮光板上的光斑面积大小恒定，进而使得遮光板能够遮挡任意位置的激光光束，气动装置控制激光系统运动时，气动组件随之推动遮光板，使得激光光束需要被遮挡的上一时刻，气动装置通过电磁阀控制气动组件移动遮光板，实现无延迟遮挡激光光束，提高基材的成像精度。
本实用新型一种用于LDI设备的气动遮光装置在权利要求书中公布了：1.一种用于LDI设备的气动遮光装置，LDI设备包括激光系统4，该激光系统4能够发射激光光束41，且所述激光系统4能够在气动装置5的推动下移动，其特征在于，所述气动遮光装置包括： 与所述激光系统4连接的安装组件1； 设置在所述安装组件1上的遮光组件2，该遮光组件2能够遮挡所述激光光束41照射到基材表面；以及设置在所述安装组件1上的气动组件3，该气动组件3能够在所述气动装置5推动所述激光系统4时推动所述遮光组件2相对所述激光光束41移动。
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