安徽万维克林精密装备有限公司周尤获国家专利权
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龙图腾网获悉安徽万维克林精密装备有限公司申请的专利晶圆清洗结构、晶圆清洗设备获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223401573U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-09-30发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202422603220.5，技术领域涉及：H01L21/67；该实用新型晶圆清洗结构、晶圆清洗设备是由周尤;姚华东;班恒生;刘柏宏设计研发完成，并于2024-10-28向国家知识产权局提交的专利申请。
本晶圆清洗结构、晶圆清洗设备在说明书摘要公布了：本实用新型提供了一种晶圆清洗结构，包括：载台和喷淋单元，所述喷淋单元设置载台上：清洗辊，所述清洗辊延伸进入载台，所述载台内部设有升降机构，所述升降机构与清洗辊连接；所述清洗辊与待处理的晶圆接触连接。所述升降机构包括电动推杆、导轨组件和滑动组件，所述清洗辊末端与滑动组件连接，所述滑动组件滑动于导轨组件；所述滑动组件一端与导轨组件设有弹簧连接，所述电动推杆抵持在所述滑动组件上。本实用新型中清洗辊施加在晶圆的作用力为弹性力，弹性力在加工过程中让清洁刷与晶圆接触变成柔性接触，可以增强对晶圆接触效果，从而减少清洁死角，提升清洁效率。
本实用新型晶圆清洗结构、晶圆清洗设备在权利要求书中公布了：1.一种晶圆清洗结构，其特征在于，包括： 载台100和喷淋单元200，所述喷淋单元200设置载台100上： 清洗辊300，所述清洗辊300延伸进入载台100，所述载台100内部设有升降机构，所述升降机构与清洗辊300连接；所述清洗辊300与待处理的晶圆510接触连接； 所述升降机构包括电动推杆640、导轨组件和滑动组件，所述导轨组件包括第一导向轨道610、主轨道620和第二导向轨道630，所述滑动组件包括滑动杆710和横梁720，所述滑动杆710和横梁720垂直连接，所述清洗辊300末端与滑动杆710连接，所述滑动杆710滑动于主轨道620，所述横梁720两端分别滑动于第一导向轨道610和第二导向轨道630； 所述滑动杆710远离横梁720的一端与主轨道620设有弹簧连接，所述电动推杆640抵持在所述横梁720远离滑动杆710的端面。
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