湖北星辰技术有限公司孔令慧获国家专利权
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龙图腾网获悉湖北星辰技术有限公司申请的专利一种晶圆刻蚀装置获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223401578U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-09-30发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202422764894.3，技术领域涉及：H01L21/67；该实用新型一种晶圆刻蚀装置是由孔令慧;刘为银;邢子健设计研发完成，并于2024-11-12向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种晶圆刻蚀装置在说明书摘要公布了：一种晶圆刻蚀装置，涉及半导体设备技术领域。该晶圆刻蚀装置包括刻蚀腔室、第一入气管和出气管；刻蚀腔室内设有支架，支架包括放置层以及与放置层间隔设置的排气板，放置层包括间隔设置的多个卡板，晶圆能够放置于多个卡板上并卡设于卡板与排气板之间；用于放置晶圆；排气板上同心排布有多圈排气管道，排气管道上间隔均布有朝向晶圆设置的多个排气口；第一入气管与排气管道连通，用于向排气板内注入刻蚀气体；出气管与刻蚀腔室连通。上述晶圆刻蚀装置能够使腔室内各处的刻蚀气体浓度均匀，进而使晶圆表面各处的刻蚀速率相等，提高了刻蚀均匀性与产品良率。
本实用新型一种晶圆刻蚀装置在权利要求书中公布了：1.一种晶圆刻蚀装置，其特征在于，包括刻蚀腔室110、第一入气管120和出气管130；所述刻蚀腔室110内设有支架140，所述支架140包括放置层以及与所述放置层间隔设置的排气板142，所述放置层包括间隔设置的多个卡板141，晶圆能够放置于多个所述卡板141上并卡设于所述卡板141与所述排气板142之间；所述排气板142上同心排布有多圈排气管道1421，所述排气管道1421上间隔均布有朝向晶圆设置的多个排气口1422；所述第一入气管120与所述排气管道1421连通，用于向所述排气板142内注入刻蚀气体；所述出气管130与所述刻蚀腔室110连通。
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