台积电(中国)有限公司;台湾积体电路制造股份有限公司马霖获国家专利权
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龙图腾网获悉台积电(中国)有限公司;台湾积体电路制造股份有限公司申请的专利晶圆载具以及晶圆处理工具获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223401583U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-09-30发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202422735505.4，技术领域涉及：H01L21/673；该实用新型晶圆载具以及晶圆处理工具是由马霖;罗永红;林春;陈磊;张通;谈建新设计研发完成，并于2024-11-08向国家知识产权局提交的专利申请。
本晶圆载具以及晶圆处理工具在说明书摘要公布了：一种晶圆载具以及晶圆处理工具，晶圆载具包含盒体及盖体。盒体用以容纳一晶舟。盖体与该盒体枢接，其中该盒体及该盖体的其中一者具有一第一开口。
本实用新型晶圆载具以及晶圆处理工具在权利要求书中公布了：1.一种晶圆载具，其特征在于，包含： 一盒体，用以容纳一晶舟；及一盖体，与该盒体枢接，其中该盒体及该盖体的其中一者具有一第一开口。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人台积电(中国)有限公司;台湾积体电路制造股份有限公司，其通讯地址为：201616 上海市松江区文翔路4000号；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
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2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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