苏州富芯峰半导体设备有限公司乔涛涛获国家专利权
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龙图腾网获悉苏州富芯峰半导体设备有限公司申请的专利一种双工位晶圆移动机构获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223401585U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-09-30发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202422039803.X，技术领域涉及：H01L21/677；该实用新型一种双工位晶圆移动机构是由乔涛涛;陈林林设计研发完成，并于2024-08-22向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种双工位晶圆移动机构在说明书摘要公布了：本申请提供一种双工位晶圆移动机构，其特征在于，双工位晶圆移动机构包括第一驱动件、支架、滑轨和夹持组件，其中：支架两侧分别设置有一个运输工位，运输工位被配置为运输晶圆；每个运输工位设置有滑轨，滑轨位于支架一侧，夹持组件与滑轨滑动连接，滑轨被配置为引导夹持组件沿滑轨所在的竖直方向进行滑动；运输工位底部设置有第一驱动件，第一驱动件驱动端连接夹持组件，夹持组件被配置为承载晶圆，两个工位同时运作，通过第一驱动件驱动夹持组件沿滑轨进行滑动，不仅实现了将两个运输工位的晶圆快速自动运输至预设位置，提高了输送效率，而且晶圆放置在卡槽内，提高了运输的稳定性，避免运输中晶圆受到损坏。
本实用新型一种双工位晶圆移动机构在权利要求书中公布了：1.一种双工位晶圆移动机构，其特征在于，所述双工位晶圆移动机构包括第一驱动件、支架、滑轨和夹持组件，其中： 所述支架两侧分别设置有一个运输工位，所述运输工位被配置为进行晶圆运输； 每个所述运输工位设置有所述滑轨，所述滑轨位于所述支架一侧，所述夹持组件与所述滑轨滑动连接，所述滑轨被配置为引导所述夹持组件沿滑轨所在的竖直方向进行滑动； 所述滑轨底部设置有所述第一驱动件，所述第一驱动件驱动端连接所述夹持组件，所述夹持组件被配置为承载晶圆，所述第一驱动件被配置为驱动夹持组件沿滑轨进行滑动，以将晶圆运输至预设位置。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人苏州富芯峰半导体设备有限公司，其通讯地址为：215000 江苏省苏州市昆山开发区澄湖路58号12幢1楼车间北和1楼隔层北；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
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