嘉际环控(西安)科技有限公司金炫宇获国家专利权
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龙图腾网获悉嘉际环控(西安)科技有限公司申请的专利一种搬运机械手及晶圆传送装置获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN223401586U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-09-30发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202422050717.9,技术领域涉及:H01L21/677;该实用新型一种搬运机械手及晶圆传送装置是由金炫宇;张宝宝;刘超设计研发完成,并于2024-08-23向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种搬运机械手及晶圆传送装置在说明书摘要公布了:本实用新型公开了一种搬运机械手及晶圆传送装置,包括机械臂,所述机械臂一端顶部固定连接有移动圆框,所述移动圆框顶部固定连接有液压缸,所述液压缸的输出端固定连接有驱动杆,所述驱动杆底部一端固定连接有呈十字状设置的齿条板,所述移动圆框内壁顶端靠近驱动杆周围固定连接有若干个固定杆,若干个所述固定杆底部固定连接有呈方形状设置的框架,所述框架四边均转动连接有传动齿轮,若干个所述传动齿轮两侧均固定连接有旋转杆,若干个所述旋转杆底部一端均固定连接有橡胶夹块,若干个其中一侧两个旋转杆夹角之间均固定连接有加强筋,本实用新型可以对不同尺寸大小的晶圆进行夹持,避免频繁更换机械手,提高了夹持组件的实用性。
本实用新型一种搬运机械手及晶圆传送装置在权利要求书中公布了:1.一种搬运机械手,包括机械臂2,其特征在于:所述机械臂2一端顶部固定连接有移动圆框21,所述移动圆框21顶部固定连接有液压缸22,所述液压缸22的输出端固定连接有驱动杆23,所述驱动杆23底部一端固定连接有呈十字状设置的齿条板24,所述移动圆框21内壁顶端靠近驱动杆23周围固定连接有若干个固定杆3,若干个所述固定杆3底部固定连接有呈方形状设置的框架31,所述框架31四边均转动连接有传动齿轮32,若干个所述传动齿轮32两侧均固定连接有旋转杆33,若干个所述旋转杆33底部一端均固定连接有橡胶夹块34。
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