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龙图腾网获悉浙江旭盛电子有限公司申请的专利氧化硅片制备的热氧化装置获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223401587U 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-09-30发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202422455577.3，技术领域涉及：H01L21/677；该实用新型氧化硅片制备的热氧化装置是由方勇华;杨亨;方萌;廖建军;刘小祥;方真洪;周贤明;陆美凤设计研发完成，并于2024-10-11向国家知识产权局提交的专利申请。

本氧化硅片制备的热氧化装置在说明书摘要公布了：本实用新型涉及氧化硅片热氧化装置技术领域，具体地说，涉及氧化硅片制备的热氧化装置，包括支撑架，支撑架的前后两侧板体之间固定安装有多个电加热棒，两个转轴之间通过网孔输送带连接，其中一个转轴的末端同轴设置有驱动电机，支撑架上固定安装有保温箱，保温箱上设置有通气组件，通气组件包括气缸，气缸的伸缩轴穿过保温箱的顶部板体并固定安装有出气罩，出气罩的顶面上固定安装有左右两个竖直管，竖直管与保温箱的顶部板体之间滑动连接，保温箱的一侧设置有气源泵，气源泵的进气端固定安装有进气管，气源泵的出气端固定安装有软管，软管的末端固定安装在竖直管的顶部管体上。本实用新型便于进行出气高度调节和热氧化处理操作，方便使用。

本实用新型氧化硅片制备的热氧化装置在权利要求书中公布了：1.氧化硅片制备的热氧化装置，包括支撑架1，其特征在于：所述支撑架1的前后两侧板体之间固定安装有多个呈线性等间距排列的电加热棒10，所述支撑架1的前后两侧板体之间转动连接有左右两个相互对称的转轴12，两个所述转轴12之间通过首尾相连的网孔输送带13连接，其中一个所述转轴12的末端同轴设置有驱动电机14，所述支撑架1上固定安装有保温箱2，所述保温箱2上设置有通气组件3，所述通气组件3包括固定安装在所述保温箱2顶部板体上的气缸30，所述气缸30的伸缩轴穿过所述保温箱2的顶部板体并固定安装有出气罩31，所述出气罩31的顶面上固定安装有左右两个相互对称的竖直管32，所述竖直管32穿过所述保温箱2的顶部板体并与所述保温箱2的顶部板体之间滑动连接，所述保温箱2的一侧设置有气源泵35，所述气源泵35的进气端固定安装有进气管37，所述气源泵35的出气端固定安装有软管36，所述软管36的末端固定安装在所述竖直管32的顶部管体上。

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