芯恩(青岛)集成电路有限公司闫傲获国家专利权
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龙图腾网获悉芯恩(青岛)集成电路有限公司申请的专利防止晶圆位置偏移装置及晶圆处理系统获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223401591U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-09-30发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202422332832.5，技术领域涉及：H01L21/68；该实用新型防止晶圆位置偏移装置及晶圆处理系统是由闫傲设计研发完成，并于2024-09-24向国家知识产权局提交的专利申请。
本防止晶圆位置偏移装置及晶圆处理系统在说明书摘要公布了：本实用新型提供了一种防止晶圆位置偏移装置及晶圆处理系统，包括驱动结构、第一检测部和控制器，驱动结构包括驱动部和推杆，推杆具有第一端和第二端，驱动部用于驱动推杆的第一端旋转以使得推杆的第二端朝向晶圆收拢，控制器分别与驱动部和第一检测部电连接，第一检测部用于检测晶圆的位置，控制器用于在第一检测部检测到晶圆位置偏移时，控制所述驱动部驱动所述推杆旋转预设角度。该防止晶圆位置偏移装置防止了晶圆在承载座上偏移导致的机台报警以及晶圆由于位置偏移导致的刻蚀残次品的问题，提高了晶圆的成品率。
本实用新型防止晶圆位置偏移装置及晶圆处理系统在权利要求书中公布了：1.一种防止晶圆位置偏移装置，其特征在于，包括： 驱动结构、第一检测部和控制器； 所述驱动结构的数量为多个，用于沿周向间隔设置于晶圆承载座的下方，所述驱动结构包括驱动部和与所述驱动部连接的推杆，所述推杆具有第一端和第二端，所述驱动部用于驱动所述第一端旋转以使得所述第二端朝向晶圆收拢，所述控制器分别与所述驱动部和所述第一检测部电连接，所述第一检测部用于检测晶圆的位置，所述控制器用于在所述第一检测部检测到所述晶圆位置偏移时，控制所述驱动部驱动所述推杆的第一端旋转预设角度。
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