苏州德龙激光股份有限公司;江阴德力激光设备有限公司赵裕兴获国家专利权
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龙图腾网获悉苏州德龙激光股份有限公司;江阴德力激光设备有限公司申请的专利晶圆吸附用压紧装置获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223401592U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-09-30发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202422650223.4，技术领域涉及：H01L21/683；该实用新型晶圆吸附用压紧装置是由赵裕兴;王乾宝设计研发完成，并于2024-10-31向国家知识产权局提交的专利申请。
本晶圆吸附用压紧装置在说明书摘要公布了：本实用新型涉及一种晶圆吸附用压紧装置，包括沿着左右方向分布的侧护板、安装在侧护板上的且沿着竖直方向分布的后侧固定板和晶圆下压执行机构；晶圆下压执行机构从上往下依次包括上连接板、中连接板、下连接板和压紧盘，丝杠电机的驱动端与下方的上连接板的中部相连接，下连接板与下方的压紧盘相连接。本实用新型能够在晶圆载台对晶圆进行吸附过程中进行压紧，使得晶圆与加工载台紧密贴合，确保晶圆尽量平整。
本实用新型晶圆吸附用压紧装置在权利要求书中公布了：1.晶圆吸附用压紧装置，包括沿着左右方向分布的侧护板3、安装在所述侧护板3上的且沿着竖直方向分布的后侧固定板4和晶圆下压执行机构5；其特征在于：安装在所述后侧固定板4上的气缸8驱动下方的电机固定板7在竖直方向上移动，在所述电机固定板7的底部安装有丝杠电机6，所述丝杠电机6驱动下方的晶圆下压执行机构5在竖直方向上移动； 所述晶圆下压执行机构5从上往下依次包括上连接板508、中连接板507、下连接板505和压紧盘506，所述丝杠电机6的驱动端与下方的上连接板508的中部相连接，所述下连接板505与下方的压紧盘506相连接； 所述上连接板508与中连接板507之间通过若干个销轴一501和紧固环502连接在一起，所述销轴一501从上往下依次穿过紧固环502和上连接板508后再通过螺钉512锁固在中连接板507上； 所述中连接板507与下连接板505之间通过若干个销轴二509和紧固环502连接在一起，所述销轴二509从上往下依次穿过紧固环502和中连接板507后再嵌设入下方的下连接板505内； 在所述中连接板507与下连接板505之间的销轴二509上安装有弹簧510，在所述上连接板508和下连接板505之间安装有若干个弹片504。
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