北京燕东微电子科技有限公司纪开勋获国家专利权
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龙图腾网获悉北京燕东微电子科技有限公司申请的专利晶圆拾取装置获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223401595U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-09-30发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202422819988.6，技术领域涉及：H01L21/687；该实用新型晶圆拾取装置是由纪开勋;张恩鸣;于忠利;余坚;徐阳设计研发完成，并于2024-11-19向国家知识产权局提交的专利申请。
本晶圆拾取装置在说明书摘要公布了：本实用新型公开了一种晶圆拾取装置。根据本实用新型的晶圆拾取装置包括：主体框架，主体框架包括延伸杆和连接至延伸杆的第一端的第一阻挡块，延伸杆上设置有滑动槽；承托臂，承托臂包括滑动杆和连接至滑动杆的第一端的晶圆承托部，滑动杆设置在滑动槽中，晶圆承托部上设置有第二阻挡块，第一阻挡块与第二阻挡块之间形成夹持晶圆的夹持空间；以及弹性元件，弹性元件将滑动杆的第二端滑动连接至延伸杆，其中，弹性元件能够使承托臂相对于主体框架沿着滑动槽滑动，以使晶圆固定于第一阻挡块和第二阻挡块之间。本实用新型实施例提供的晶圆拾取装置，能够安全可靠地拾取晶圆。
本实用新型晶圆拾取装置在权利要求书中公布了：1.一种晶圆拾取装置，其特征在于，包括： 主体框架，所述主体框架包括延伸杆和连接至所述延伸杆的第一端的第一阻挡块，所述延伸杆上设置有滑动槽； 承托臂，所述承托臂包括滑动杆和连接至所述滑动杆的第一端的晶圆承托部，所述滑动杆设置在所述滑动槽中，所述晶圆承托部上设置有第二阻挡块，所述第一阻挡块与所述第二阻挡块之间形成夹持晶圆的夹持空间；以及弹性元件，所述弹性元件将所述滑动杆的第二端滑动连接至所述延伸杆，其中，所述弹性元件能够使所述承托臂相对于所述主体框架沿着所述滑动槽滑动，以使晶圆固定于所述第一阻挡块和所述第二阻挡块之间。
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