北京工业大学张新平获国家专利权
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龙图腾网获悉北京工业大学申请的专利一种飞秒深紫外激光器获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN223402055U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-09-30发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202422592026.1,技术领域涉及:H01S3/108;该实用新型一种飞秒深紫外激光器是由张新平;薛逸群设计研发完成,并于2024-10-25向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种飞秒深紫外激光器在说明书摘要公布了:本实用新型提供一种飞秒深紫外激光器,涉及激光技术领域。该装置包括:沿着光路依次间隔设置的泵浦源、泵浦激光聚焦镜、PPKTP晶体,所述PPKTP晶体设置在谐振腔中;所述泵浦激光聚焦镜用于将所述泵浦源产生的泵浦光聚焦到所述PPKTP晶体中;所述PPKTP晶体用于通过非线性过程产生二次谐波,所述谐振腔用于将产生的二次谐波反射到所述PPKTP晶体。本实用新型通过基于所述PPKTP晶体的高阶准相位匹配OPO中混频过程的多级级联,将产生的脉冲波长从近红外缩短到绿色、蓝色,最终缩短到深紫外DUV,提升了深紫外脉冲产生的效率和稳定性。
本实用新型一种飞秒深紫外激光器在权利要求书中公布了:1.一种飞秒深紫外激光器,其特征在于,包括:沿着光路依次间隔设置的泵浦源100、泵浦激光聚焦镜200、PPKTP晶体300,所述PPKTP晶体300设置在谐振腔400中; 所述泵浦激光聚焦镜200用于将所述泵浦源100产生的泵浦光聚焦到所述PPKTP晶体300中; 所述PPKTP晶体300用于产生波长介于1060nm~1400nm的信号光,所述谐振腔400用于将波长介于1060nm~1400nm和波长介于427nm~477nm的光反射到所述PPKTP晶体300,所述PPKTP晶体300还用于对所述谐振腔400反射的光和所述泵浦光进行多级准相位匹配混频生成深紫外脉冲。
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