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龙图腾网获悉北京京仪自动化装备技术有限公司申请的专利晶圆映射传感器的安装机构获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN110854050B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-10-03发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：201911277168.6，技术领域涉及：H01L21/67；该发明授权晶圆映射传感器的安装机构是由刘洪亮;卢俊男;梁明亮设计研发完成，并于2019-12-12向国家知识产权局提交的专利申请。

本晶圆映射传感器的安装机构在说明书摘要公布了：本发明涉及半导体附属设备领域，提供晶圆映射传感器的安装机构。该安装机构包括：轴承座组件，包括轴承座板和设于轴承座板下的直线滑轨以及一对安装孔；推板，推板设有沿其长度方向延伸并朝向其宽度方向倾斜的斜槽；驱动机构，驱动机构与推板连接；滑块，固设有第一连接轴并安装在斜槽中，滑块与直线滑轨滑动连接，滑块上设有一对长槽孔；一对驱动转臂组件，包括驱动转臂，驱动转臂设有转动端和安装端，转动端固设有第二连接轴，驱动转臂通过对应的第二连接轴安装在滑块的长槽孔中；一对转轴组件；一对安装转臂，安装转臂与转轴组件连接并用于安装传感器。本发明能够避免旋转空间与晶圆所处空间相交，导致出现与晶圆碰撞事故的问题。

本发明授权晶圆映射传感器的安装机构在权利要求书中公布了：1.一种晶圆映射传感器的安装机构，其特征在于，包括： 轴承座组件，包括轴承座板和沿所述轴承座板的宽度方向设于所述轴承座板的下表面的直线滑轨，所述轴承座板呈长条形，长度与所述晶圆所在区域的直径相适应，所述轴承座板位于所述直线滑轨的两侧分别设有一安装孔，一对所述安装孔错开所述直线滑轨所在位置； 推板，所述推板设有沿其长度方向延伸并朝向其宽度方向倾斜的斜槽，所述斜槽贯通所述推板； 驱动机构，所述驱动机构连接在所述推板位于长度方向的一端； 滑块，固设有第一连接轴，所述第一连接轴远离所述滑块的一端设有第一辊轮，所述滑块通过所述第一辊轮安装在所述斜槽中，所述滑块与所述直线滑轨滑动连接，所述滑块位于其长度方向的两端分设有沿其长度方向延伸的长槽孔； 一对驱动转臂组件，每个所述驱动转臂组件包括驱动转臂，所述驱动转臂设有转动端和安装端，所述转动端固设有第二连接轴，所述第二连接轴远离所述驱动转臂的一端设有第二辊轮，所述驱动转臂通过对应的所述第二辊轮安装在所述滑块的长槽孔中，所述长槽孔的长度大于所述第二辊轮的外径； 一对转轴组件； 一对安装转臂，每个所述安装转臂包括转动端和安装端，所述安装转臂的转动端通过所述转轴组件与所述驱动转臂的安装端连接，所述安装转臂的安装端用于安装传感器； 所述轴承座板朝向晶圆所在区域的一侧分别设有用于所述安装转臂限位的限位柱。

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