菲兹克光电(长春)有限公司李昌立获国家专利权
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龙图腾网获悉菲兹克光电(长春)有限公司申请的专利一种激光扫描振镜性能检测装置获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN112432765B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-10-03发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202011009322.4,技术领域涉及:G01M11/02;该发明授权一种激光扫描振镜性能检测装置是由李昌立设计研发完成,并于2020-09-23向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种激光扫描振镜性能检测装置在说明书摘要公布了:本发明公开了一种激光扫描振镜性能检测装置,包括:光学平台、振镜、激光器、振镜调整台、光学聚焦镜头、方位旋转台和数据采集器;振镜调整台、方位旋转台和数据采集器均固定安装于光学平台上;振镜固定在振镜调整台上;方位旋转台与所述振镜调整台对应设置;数据采集器包括:探测器、同步采集电路箱和工控机;探测器安装在方位旋转台上;探测器的前面装有光学聚焦镜头,探测器顶端安装有激光器,三者机械连接;探测器与同步采集电路箱电性连接;同步采集电路箱与工控机电性连接。本发明提供了一种激光扫描振镜性能检测装置,不仅提高了成像的稳定性,而且保证摆角的均匀性,同时对动态扫描参数精准测量;进一步保证扫描和成像质量。
本发明授权一种激光扫描振镜性能检测装置在权利要求书中公布了:1.一种激光扫描振镜性能检测装置,其特征在于,包括:光学平台1、振镜2、激光器3、振镜调整台4、方位旋转台5、数据采集器和光学聚焦镜头7;其中,所述振镜调整台4、所述方位旋转台5和所述数据采集器均固定安装于所述光学平台1上;所述振镜2固定在所述振镜调整台4上;所述方位旋转台5与所述振镜调整台4对应设置; 所述数据采集器包括:探测器61、同步采集电路箱62和工控机63;所述探测器61安装在所述方位旋转台5上;所述探测器61前面装有所述光学聚焦镜头7,所述探测器61顶端安装有所述激光器3;所述探测器61、所述光学聚焦镜头7和所述激光器3机械连接;所述探测器61与所述同步采集电路箱62电性连接;所述同步采集电路箱62与所述工控机63电性连接; 所述激光扫描振镜性能检测装置用于执行如下步骤: 振镜上电,激光经过鲍威尔棱镜,形成“一”字光源,照射到振镜上,“一”字光源反射,穿过聚焦透镜聚焦后,照射到探测器的光敏面; 定义工作零点,即正负最大摆角的中间位置;振镜的最大摆角±α°,根据反射定律,在振镜摆动α°情况下,入射激光将反射2α°,再根据振镜摆动的对称性,在摆角‑α°情况下,入射激光将反射‑2α°,所以入射激光经过振镜反射后的摆角为±2α°,即4α°; 根据相邻2次过工作零点所经历的时间,确定扫描频率;根据过多个零点所经历的时间,确定其平均频率;其倒数为扫描周期; 采用光斑在探测器上相邻单位时间的位移变化量的百分比为线性段的判定依据;根据获得线性段经历时间占扫描周期的百分比,确定线性段时间利用率; 计算出获得线性段有效摆角的平均值,得到线性段有效摆角; 按照探测器的工作特性,相邻采样点的距离与所经历时间的比值,得到瞬时速度,线性区内,瞬时速度的最大值与所述经历时间对应的速度理论值之差,比上所述经历时间对应的速度理论值,乘以100%,为最大速度偏差: ; 以此作为衡量速度均匀性标准,通过计算线性段内速度最大偏差,获得振镜运动速度的均匀性。
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